臺式掃描電子顯微鏡是電子顯微鏡的一種，該儀器具有超高分辨率，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。

   該儀器利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎上，低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實原貌的立體感強的樣品表面超微形貌結構信息。臺式掃描電子顯微鏡具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力。

   臺式掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數可調范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經濟的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進了場發(fā)射掃描電子顯微鏡。但是在臺式掃描電子顯微鏡的使用過程中，特別是在安裝初期，使用者通常由于對電鏡的運行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認識，經常會遇到軟件死機、樣品臺被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請維修工程師上門維修，除花費時間和費用外，也造成了對電鏡操作者的心里束縛。

   臺式掃描電子顯微鏡是研究微觀世界的重要工具之一，為人們在微納米尺度上研究物質的結構提供了有力的手段，在材料科學等眾多學科領域及質量過程控制中得到日益廣泛的應用。臺式掃描電子顯微鏡是掃描電子顯微鏡的一個重要分支。具有以下特點：放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等，現已被廣泛地應用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造等各個研究領域。