BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,銷售/39529839/39529830:單榮兵
BALLUFF位移傳感器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收,根據(jù)不同的距離,CCD線性相機(jī)可以在不同的角度下“看見”這個(gè)光點(diǎn)。根據(jù)這個(gè)角度及已知的激光和相機(jī)之間的距離,數(shù)字信號處理器就能計(jì)算出傳感器和被測物體之間的距離。 同時(shí),光束在接收元件的位置通過模擬和數(shù)字電路處理,并通過微處理器分析,計(jì)算出相應(yīng)的輸出值,并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi),按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號。如果使用開關(guān)量輸出,則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通,窗口之外截止。另外,模擬量與開關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測窗口。 采取三角測量法的激光位移傳感器zui高線性度可達(dá)1um,分辨率更是可達(dá)到0.1um的水平。比如ZLDS100類型的傳感器,它可以達(dá)到0.01%高分辨率,0.1%高線性度,9.4KHz高響應(yīng),適應(yīng)惡劣環(huán)境。
BALLUFF位移傳感器只要是有定周期的曲線簇重疊起來,便會產(chǎn)生莫爾條紋。計(jì)量光柵在實(shí)際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,銷售/39529839/39529830:單榮兵
透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線,a為刻線寬,b為兩刻線之間縫寬,W=a+b稱為光柵柵距。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測位移,需要兩塊光柵。塊光柵稱為主光柵,它的大小與測量范圍相致;另塊是很小的塊,稱為指示光柵。為了測量位移,必須在主光柵側(cè)加光源,在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當(dāng)主光柵和指示光柵相對移動(dòng)時(shí),由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動(dòng),固定在指示光柵側(cè)的光電元件,將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換成電信號。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,使得信號為脈動(dòng)信號。如圖 1,此信號是直流信號和近視正弦的周期信號的疊加,周期信號是位移x的函數(shù)。每當(dāng)x變化個(gè)光柵柵距W,信號就變化個(gè)周期,信號由b點(diǎn)變化到b’點(diǎn)。由于bb’=W,故b’點(diǎn)的狀態(tài)與b點(diǎn)狀態(tài)*樣,只是在相位上增加了2π。
BALLUFF位移傳感器在實(shí)際應(yīng)用中,位移具有兩個(gè)方向,即選定個(gè)方向后,位移有正負(fù)之分,因此用個(gè) 光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個(gè)莫爾條紋信號。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件,得到兩個(gè)相位差π/2的電信號u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個(gè)方波信號u01’和u02’。光柵正向移動(dòng)時(shí)u01超前u02 90度,反向移動(dòng)時(shí)u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運(yùn)動(dòng)方向。BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,銷售/39529839/39529830:單榮兵
細(xì)分技術(shù)
隨著對測量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當(dāng)?shù)拇胧δ獱枟l紋進(jìn)行細(xì)分。所謂細(xì)分就是在莫爾條紋信號變化個(gè)周期內(nèi),發(fā)出若干個(gè)脈沖,以減少脈沖當(dāng)量。如個(gè)周期內(nèi)發(fā)出n個(gè)脈沖,則可使測量精度提高n備,而每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來柵距的1/n。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。 通常用的有兩種細(xì)分方法:其、直接細(xì)分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件,可得到兩個(gè)相位差90o的電信號,用反相器反相后就得到四個(gè)依次相差90o的交流信號。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個(gè)依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個(gè)相位差90o的交流信號,實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。其二、電路細(xì)分。
BALLUFF位移傳感器的功能在于把直線機(jī)械位移量轉(zhuǎn)換成電信號。為了達(dá)到這效果,通常將可變電阻滑軌定置在傳感器的固定部位,通過滑片在滑軌上的位移來測量不同的阻值。傳感器滑軌連接穩(wěn)態(tài)直流電壓,允許流過微安培的小電流,滑片和始端之間的電壓,與滑片移動(dòng)的長度成正比。將傳感器用作分壓器可zui大限度降低對滑軌總阻值性的要求,因?yàn)橛蓽囟茸兓鸬淖柚底兓粫绊懙綔y量結(jié)果。 /39529839/39529830:單榮兵