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MKS擁有波紋管密封真空直閥的完整產(chǎn)品系列，對(duì)ISO-KF、ISO-通用型、ASA、CF法蘭和焊樁產(chǎn)品，其尺寸從3/4" 到6"都有。160系列閥門具有長(zhǎng)的設(shè)計(jì)壽命，適用于高頻度使用的場(chǎng)合。其固有簡(jiǎn)潔性和出色的設(shè)計(jì)使它們可以應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，在這些設(shè)備中往往存在著化學(xué)污染和顆粒沾污。該系列產(chǎn)品還可以用于等離子物理和核加速器等領(lǐng)域中的高級(jí)研究應(yīng)用中。它通常具有數(shù)十萬(wàn)個(gè)開/關(guān)周期的工作壽命。

160 系列閥門

帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門

零件編號(hào)

描述

連接方式

限位開關(guān)

電磁閥

帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門手動(dòng)

161-0016K	手動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 16	否	否
161-0025K	手動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 25	否	否
161-0040K	手動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 40	否	否
161-0050K	手動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 50	否	否
161-0063P	手動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 63	否	否
161-0080P	手動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 80	否	否

帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng)

162-0016K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 16	否	否
162-0025K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 25	否	否
162-0040K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 40	否	否
162-0050K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 50	否	否
162-0063P	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 63	否	否
162-0080P	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 80	否	否

帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶限位開關(guān)

162-1016K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 16	是	否
162-1025K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 25	是	否
162-1040K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 40	是	否
162-1050K	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 50	是	否
162-1063P	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 63	是	否
162-1080P	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 80	是	否

帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶電磁閥*

163-0016K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 16	否	是
163-0025K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 25	否	是
163-0040K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 40	否	是
163-0050K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 50	否	是
163-0063P-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 63	否	是
163-0080P-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 80	否	是

160 系列閥門（續(xù)）

帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶電磁閥* 和限位開關(guān)

163-1016K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 16	是	是
163-1025K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 25	是	是
163-1040K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 40	是	是
163-1050K-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-KF NW 50	是	是
163-1063P-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 63	是	是
163-1080P-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	ISO-Universal NW 80	是	是

電磁閥

*注：在確定帶電磁閥的氣動(dòng)閥門零件編號(hào)時(shí)，請(qǐng)先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴(kuò)展零件編號(hào)。

零件編號(hào)示例: 163-1160P-24VDC

電壓和頻率	24 VDC	24 VAC 50-60 Hz	208 VAC 50-60 Hz	100-120 VAC 50 Hz; 110-130 VAC 60 Hz	210-240 VAC 50 Hz; 220-250 VAC 60 Hz
零件編號(hào)	-24VDC	-24V/50-60	-208V/50-60	-120V/50-60	- 220V/50-60

帶有CF法蘭的160系列軸向閥門

零件編號(hào)

描述

連接方式

限位開關(guān)

電磁閥

帶有CF法蘭的160系列軸向閥門手動(dòng)

161-0016C	手動(dòng)軸向閥門	1-1/3" CF	否	否
161-0025C	手動(dòng)軸向閥門	2-1/8" CF	否	否
161-0040C	手動(dòng)軸向閥門	2-3/4" CF	否	否
161-0050C	手動(dòng)軸向閥門	3-3/8" CF	否	否
161-0063C	手動(dòng)軸向閥門	4-1/2" CF	否	否
161-0080C	手動(dòng)軸向閥門	4-5/8" CF	否	否

帶有CF法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng)

162-0016C	氣動(dòng)軸向閥門	1-1/3" CF	否	否
162-0025C	氣動(dòng)軸向閥門	2-1/8" CF	否	否
162-0040C	氣動(dòng)軸向閥門	2-3/4" CF	否	否
162-0050C	氣動(dòng)軸向閥門	3-3/8" CF	否	否
162-0063C	氣動(dòng)軸向閥門	4-1/2" CF	否	否
162-0080C	氣動(dòng)軸向閥門	4-5/8" CF	否	否

帶有CF法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶限位開關(guān)

162-1016C	氣動(dòng)軸向閥門	1-1/3" CF	是	否
162-1025C	氣動(dòng)軸向閥門	2-1/8" CF	是	否
162-1040C	氣動(dòng)軸向閥門	2-3/4" CF	是	否
162-1050C	氣動(dòng)軸向閥門	3-3/8" CF	是	否
162-1063C	氣動(dòng)軸向閥門	4-1/2" CF	是	否
162-1080C	氣動(dòng)軸向閥門	4-5/8" CF	是	否

160 系列閥門（續(xù)）

帶有CF法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶電磁閥*

163-0016C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	1-1/3"CF	否	是
163-0025C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2-1/8" CF	否	是
163-0040C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2-3/4" CF	否	是
163-0050C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	3-3/8" CF	否	是
163-0063C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	4-1/2" CF	否	是
163-0080C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	4-5/8" CF	否	是

帶有CF法蘭的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶電磁閥* 和限位開關(guān)

163-1016C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	1-1/3" CF	是	是
163-1025C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2-1/8"CF	是	是
163-1040C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2-3/4" CF	是	是
163-1050C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	3-3/8" CF	是	是
163-1063C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	4-1/2"CF	是	是
163-1080C-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	4-5/8" CF	是	是

電磁閥

*注：在確定帶電磁閥的氣動(dòng)閥門零件編號(hào)時(shí)，請(qǐng)先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴(kuò)展零件編號(hào)。

零件編號(hào)示例: 163-1160P-24VDC

電壓和頻率	24 VDC	24 VAC 50-60 Hz	208 VAC 50-60 Hz	100-120 VAC 50 Hz; 110-130 VAC 60 Hz	210-240 VAC 50 Hz; 220-250 VAC 60 Hz
零件編號(hào)	-24VDC	-24V/50-60	-208V/50-60	-120V/50-60	- 220V/50-60

帶有焊樁的160系列軸向閥門

零件編號(hào)

描述

連接方式

限位開關(guān)

電磁閥

帶有焊樁的160系列軸向閥門手動(dòng)

161-0016T	手動(dòng)軸向閥門	0.75"	否	否
161-0025T	手動(dòng)軸向閥門	1"	否	否
161-0040T	手動(dòng)軸向閥門	1.5"	否	否
161-0050T	手動(dòng)軸向閥門	2"	否	否
161-0063T	手動(dòng)軸向閥門	2.5"	否	否
161-0080T	手動(dòng)軸向閥門	3"	否	否

帶有焊樁的160系列軸向閥門氣動(dòng)

162-0016T	氣動(dòng)軸向閥門	0.75"	否	否
162-0025T	氣動(dòng)軸向閥門	1"	否	否
162-0040T	氣動(dòng)軸向閥門	1.5"	否	否
162-0050T	氣動(dòng)軸向閥門	2"	否	否
162-0063T	氣動(dòng)軸向閥門	2.5"	否	否
162-0080T	氣動(dòng)軸向閥門	3"	否	否

160 系列閥門（續(xù)）

帶有焊樁的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶限位開關(guān)

162-1016T	氣動(dòng)軸向閥門	0.75"	是	否
162-1025T	氣動(dòng)軸向閥門	1"	是	否
162-1040T	氣動(dòng)軸向閥門	1.5"	是	否
162-1050T	氣動(dòng)軸向閥門	2"	是	否
162-1063T	氣動(dòng)軸向閥門	2.5"	是	否
162-1080T	氣動(dòng)軸向閥門	3"	是	否

帶有焊樁的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶電磁閥*

163-0016T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	0.75"	否	是
163-0025T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	1"	否	是
163-0040T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	1.5"	否	是
163-0050T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2"	否	是
163-0063T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2.5"	否	是
163-0080T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	3"	否	是

帶有焊樁的160系列軸向閥門氣動(dòng) 帶電磁閥* 和限位開關(guān)

163-1016T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	0.75"	是	是
163-1025T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	1"	是	是
163-1040T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	1.5"	是	是
163-1050T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2"	是	是
163-1063T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	2.5"	是	是
163-1080T-XXXXX	氣動(dòng)軸向閥門	3"	是	是

電磁閥

*注：在確定帶電磁閥的氣動(dòng)閥門零件編號(hào)時(shí)，請(qǐng)先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴(kuò)展零件編號(hào)。

零件編號(hào)示例: 163-1160P-24VDC

電壓和頻率	24 VDC	24 VAC 50-60 Hz	208 VAC 50-60 Hz	100-120 VAC 50 Hz; 110-130 VAC 60 Hz	210-240 VAC 50 Hz; 220-250 VAC 60 Hz
零件編號(hào)	-24VDC	-24V/50-60	-208V/50-60	-120V/50-60	- 220V/50-60

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