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            杭州太昊科技有限公司
                                                                        
            
										  中級(jí)會(huì)員 | 第16年									
            
                                    								
            

							
            
						
            
                        

					
            
										
            
						
            
                            							
            
								
            
								
            
									
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            當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> TranspectorCPM 3殘余氣體分析儀
            
					
            
				
            
			
            
		
            

	
            
		
            
			
            TranspectorCPM 3殘余氣體分析儀
            
		
            
		
            
			
		
            
	
            
	
            
		
            
			
            
				
            
					
              
						
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							TranspectorCPM 3殘余氣體分析儀
						
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            貨物所在地：浙江杭州市
            
                                        					
            更新時(shí)間：2024-11-01 11:50:50
            
					
            瀏覽次數(shù)：293
            
					在線詢價(jià)收藏商機(jī)
					
            ( 聯(lián)系我們，請(qǐng)說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>
						                
            
				
            
			
            
		
            
	
            
	
            
		
            
				
            
						

						



						



            
			
            
				
            
					
					
            
							Transpector® CPM 3殘余氣體分析儀一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)?，F(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過程監(jiān)控器。

					
            
					
            INFICON Transpector CPM 一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)?，F(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過程監(jiān)控器。
            Transpector CPM 3 通過以下特性為合作伙伴提供經(jīng)實(shí)踐證實(shí)的投資回報(bào)率：業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量技術(shù)，穩(wěn)健的適應(yīng)性架構(gòu)，易于維護(hù)，出色的產(chǎn)品支持。
            功能
            • ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)過程監(jiān)測(cè)和分析
            • ALD 就緒，測(cè)量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）
            • 在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性
            • 應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 高 級(jí)應(yīng)用專家提供支持，是一款強(qiáng)大的過程監(jiān)測(cè)與診斷工具
            • 緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
            • Hexblock™ 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以zui小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間
            • 電容隔膜計(jì) (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測(cè)過程壓力，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
            • 自動(dòng)校準(zhǔn) — 確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配



            
                                                                				
            
			
            
		
            
	
            
		



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

            
	
            
		
            
			
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