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HPG400--高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)

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INFICON真空測(cè)量控制儀器: 寬量程真空計(jì) 高精度真空計(jì) 真空計(jì)控制器

INFICON氣體檢漏設(shè)備: 便攜式檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀鹵素檢漏儀其他檢漏儀

INFICON膜厚控制系統(tǒng): 膜厚監(jiān)測(cè)儀膜厚控制儀石英晶振片

INFICON殘余氣體分析儀: 殘余氣體分析儀氣體分析系統(tǒng)

INFICON化學(xué)檢測(cè)與監(jiān)測(cè): 化學(xué)物質(zhì)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 氣體泄漏檢測(cè)儀氣體分析儀

LEYBOLD真空儀器及耗材: 工業(yè)級(jí)檢漏儀真空泵油顯示控制儀萊寶真空計(jì)

BUSCH真空設(shè)備: 廢氣處理系統(tǒng)

PFEIFFER真空控制儀器: 全量程真空計(jì)

Vogtlin流量控制器: 質(zhì)量流量計(jì) 可變面積流量計(jì)

真空泵及耗材: 干泵機(jī)械泵分子泵

ALICAT質(zhì)量流量控制儀器: 多功能質(zhì)量流量計(jì)和控制器

MKS流量計(jì)及真空計(jì): 質(zhì)量流量計(jì)

真空閥門(mén): HPS真空閥門(mén) VAT真空閥門(mén) 壓電閥

真空配件: 超高真空 CF 元件

阿爾卡特: 顯示控制器

ASTM標(biāo)準(zhǔn)油: 橡膠塑料試驗(yàn)油

水汽冷凝捕集系統(tǒng): TVP3500

過(guò)濾器: 金屬過(guò)濾器微粒過(guò)濾器水冷分離器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介詳細(xì)介紹

INFICON的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個(gè)小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測(cè)量壓強(qiáng)從2*10 -6至1000毫巴(1.5*10 -6～750Torr)。HPG400提供高度的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測(cè)量，用于精確的濺射過(guò)程的壓強(qiáng)控制。

典型應(yīng)用：

1、半導(dǎo)體制造中的濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)

2、工業(yè)鍍膜

3、在低至高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制



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