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Leica EM TXP精研一體機(jī)的技術(shù)參數(shù)
精研一體機(jī)對樣品定點(diǎn)制備，離子束研磨樣品之前的機(jī)械預(yù)加工，帶有一系列工具和一體化顯微觀察系統(tǒng)，可對樣品進(jìn)行精確的目標(biāo)定位，并對樣品進(jìn)行銑削、修快、切割、研磨、拋光及沖鉆等加工，并實(shí)時顯微觀察。
Leica EM TXP精研一體機(jī)同時具有切割、研磨、銑削、打孔、定位功能；不需轉(zhuǎn)移樣品，只需更換工具端以完成處理過程；能夠?qū)ξ⑿∧繕?biāo)區(qū)域進(jìn)行精確定位，定點(diǎn)樣品處理；還能通過立體顯微鏡實(shí)現(xiàn)原位觀察；可以實(shí)現(xiàn)高精度準(zhǔn)確制樣，簡化制樣工序，縮短制樣時間，提高制樣的成功率。
主要技術(shù)參數(shù)：
1. 可容納樣品尺寸：1.5mm×1.5mm至25mm×25mm；
2. 步進(jìn)控制精度：0.5μm、1μm、10μm、100μm；
3. 切削速度：0.03-0.5mm/sec；
4. 沖鉆直徑：3mm；
5. 觀察角度：-30°至60°；
6. 樣品微調(diào)角度：X、Y方向各±5°；
7. 自動化處理過程；
8. 配立體顯微鏡對樣品進(jìn)行實(shí)時觀察，LED環(huán)形光源照明，可通過目鏡標(biāo)尺進(jìn)行距離測量。