多功能試樣表面處理機是用于掃描電子顯微鏡和電子探針的樣品制備的設(shè)備。它可以在高純氬氣的保護下進行各種離子處理，也可以對碳和金屬進行真空蒸煮。通過該設(shè)備處理的樣品可用于外觀觀察和樣品成分分析，尤其是成分的定量分析更適合。采用分子泵系統(tǒng)，特別適合真空度要求高，真空環(huán)境良好的用戶。
多功能試樣表面處理機在高純氬氣的保護下，它可以進行各種離子處理。也可以對碳和金屬進行真空蒸煮。用該設(shè)備處理的樣品可用于樣品的形態(tài)觀察和成分分析。尤其是成分的定量分析更適合。該設(shè)備采用由分子泵和機械泵組成的高真空單元系統(tǒng)。樣品以三種方式移動：平面旋轉(zhuǎn)，傾斜旋轉(zhuǎn)和傾斜進動。
多功能試樣表面處理機的應用領(lǐng)域：離子噴涂，離子濺射，離子清洗，碳的真空蒸鍍，金屬的真空蒸鍍等。它是一種適用于樣品制備的多功能機器，如掃描電子顯微鏡，電子探針和透射電子顯微鏡。它具有真空蒸發(fā)臺，離子濺射和蝕刻裝置的多種復合功能，以及可進行多次移動的樣品臺。它可以在平面上旋轉(zhuǎn)，沿傾斜方向旋轉(zhuǎn)和傾斜進動。它可以對樣品執(zhí)行各種處理，例如：離子噴涂（在氣體電離條件下為真空蒸發(fā)），離子濺射，離子蝕刻，離子清洗和離子稀化，還可以進行真空蒸發(fā)和碳蒸汽處理。因此，它適用于金屬和合金樣品的制備。
1、鐘罩尺寸：內(nèi)徑Φ250mm×高340mmØ玻璃處理室：內(nèi)徑Φ88mm×高140mmØ內(nèi)徑：Φ88mm×高57mm。
2、樣品臺尺寸：Φ40mm。
3、金靶尺寸：Φ38mm。
4、真空度：優(yōu)于2×10-3Pa。
5、樣品移動方式：平面旋轉(zhuǎn)，傾斜旋轉(zhuǎn)，傾斜進動Ø真空系統(tǒng)：由分子泵和機械組成的高真空泵單元。
6、真空檢測：熱電偶表，冷表。
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