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            1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC
            • 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC

            貨物所在地:安徽合肥市

            更新時間:2025-02-03 21:00:07

            瀏覽次數(shù):291

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            OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其Z高工作溫度可達1200℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。

               OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其zui高工作溫度可達1200℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。

             技術參數(shù)

            OTF-1200X系列 管式爐

            殼體結構

            • 采用雙層殼體結構,并帶有風冷.使得殼體表面的溫度小于60
            • 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

            爐管

            • 材質高純石英管
            • 石英管包含在內.
            • 可以選擇其他管徑

            功率

            2.5KW

            工作電壓

            AC 208-240V 單相, 50/60Hz

            加熱元件

            Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,zui大程度的延長加熱元件的使用壽命)

            工作溫度

            • zui高工作溫度.: 1200°C
            • 連續(xù)工作溫度: 1100°C

            加熱速率

            加熱速率: 1~20°C/min 可編程

            加熱區(qū)長度

            • 總加熱區(qū)長度: 440mm
            • 恒溫區(qū)長度. : 150mm (±1°C)

            控溫系統(tǒng)

            • PID自動控制方式,可設置30段升降溫程序
            •  控溫儀表操作視頻
            • 控溫精度: ±1°C           
            • 熱電偶: K 型已經安裝在爐內

            真空密封

            • 一對不銹鋼真空密封法蘭,已經安裝
            • 法蘭上已經安裝機械壓力表
            • 一對精密針閥
            • KF-40 的抽氣接口

            功率

            100~110W

            工作電壓

            AC 208-240V , 50/60Hz

            高真空機組

            殼體

            • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
            • zui大承載量:       600 Lbs on topf:  
            • 分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示
            • 內裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:   

            抽氣速率

            • N2     33 L/s
            • He     39 L/s   (2340L/minute)
            • H2   32 L/s

            工作范圍

             1000 mbar to <1E-7 mbar 

            極限

            <1E-8 mbar (無泄漏

            質量流量控制器

            殼體

            • 采用 316不銹鋼制作
            • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
            • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

            功率

            18W 

            工作電源

            AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz

            質保期

            一年質保期,相關耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件

            質量認證

              CE Certificate



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