欧美v国产v日韩_欧美日韩另类成人_国产精华av午夜在线观看日韩_欧美日韩欧美在线免费观看_国产揄拍国内精品对白_中文字幕无线观看链接_久久综合久中文字幕无码_亚洲欧美三级另类_白天偷拍亚洲自怕_亚洲一区二区三区乱码蜜桃ai 亚洲自拍另类欧美综合,欧美精品亚洲精品,国产伦精品一区二区三区,日韩精品一区在线观看 ,国产九九精品,在线播放一区二区,精品综合久久久久久99,久久国产精品免费,免费一级大片,国内精品久久精品,国产精品美女久久久,国产99精品视频,欧美精品亚洲精品日韩 ,国产一级a爱做片免费☆观看_久久亚洲AV无码精品久久久_久久久无码精品

狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司

18255163376

business

首頁 >> 供求商機

VTC-2RF-等離子鍍膜設(shè)備

返回列表頁

舉報

貨物所在地：安徽合肥市

更新時間：2025-04-15 21:00:08

瀏覽次數(shù)：517

在線詢價收藏產(chǎn)品

( 聯(lián)系我們，請說明是在化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝！）

產(chǎn)品分類品牌分類

查看品牌全部分類

產(chǎn)品簡介詳細介紹

等離子鍍膜設(shè)備是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗幫手。

等離子鍍膜設(shè)備是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗幫手。

等離子鍍膜設(shè)備詳細說明

VTC-2RF是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗幫手。
我們用此設(shè)備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜

等離子鍍膜設(shè)備技術(shù)參數(shù)

輸入電源	220VAC 50/60Hz, 單相 800W (包括真空泵）
等離子源	一個300W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內(nèi) (點擊圖片查看詳細資料）
磁控濺射頭	一個 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接靶材尺寸: 直徑為50mm,zui大厚度6.35mm 一個快速擋板安裝在法蘭上（手動操作，見圖左3）濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機）同時可選配1英寸濺射頭
真空腔體	真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H，采用高純石英制作密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封一個不銹鋼網(wǎng)罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵） 10-5 torr （采渦旋分子泵）
載樣臺	載樣臺可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱載樣臺尺寸：直徑50mm （zui大可放置2英寸的基片）旋轉(zhuǎn)速度：1 - 20 rpm 樣品的zui高加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過1小時)，長期使用溫度500℃ 控溫精度+/- 10℃
真空泵	可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng)
薄膜測厚儀	一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)控薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
外形尺寸
質(zhì)保和質(zhì)量認證	一年質(zhì)保期，終生維護 CE認證
使用注意事項	這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜，所以并不需要太高的真空度為了較好地排出真空腔體中的氧氣，建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗，可有效減少真空腔體中的氧含量請用純度大于5N的Ar來進行等離子濺射，甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水，所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后，再導入到真空腔體內(nèi)