凈化作用：在真空爐內(nèi)氧分壓很低的情況下，金屬氧化物可分解為亞氧化物，亞氧化物在真空中加熱容易升華而揮發(fā)，由真空泵抽走。另外，附著在工件表面的油污是碳、氫、氧的化合物，蒸氣壓較高，在真空條件下加熱易揮發(fā)或分解，被真空泵抽走，起到凈化表面的作用。

    氧化作用被抑制：真空爐抑制鐵的氧化是基于以下兩個(gè)原因：一方面由于真空度高，氧化介質(zhì)極稀薄，氣—固界面上的氧化反應(yīng)速度極其緩慢，不會(huì)形成可見的氧化膜。另一方面，在真空條件下加熱，相當(dāng)于在保護(hù)氣氛中加熱，抑制了鐵的氧化。并且由于還原性氣體成分H2、CO的比例上升，即使有微量氧化，形成的氧化膜也會(huì)被還原。
  
    脫氣作用：通常，金屬中總會(huì)溶解一定量的氣體，如H2、O2、N2等，在真空條件下進(jìn)行熱處理，真空度越高，氣壓越低，溫度越高，越有利于擴(kuò)散到金屬表面的氣體逸出。

    蒸發(fā)現(xiàn)象：常壓下金屬及其合金的蒸發(fā)很少，但是在真空條件下進(jìn)行熱處理，金屬表面合金元素的蒸發(fā)有時(shí)是很嚴(yán)重的，這將會(huì)造成表面合金元素的貧乏，從而改變合金組織，使力學(xué)性能下降。為了避免這種現(xiàn)象，可以先將爐內(nèi)氣體抽到較高的真空度，隨即充入高純度氮?dú)饣驓鍤猓範(fàn)t內(nèi)氣壓維持在26.6~200Pa下進(jìn)行熱處理。

    加熱速度緩慢：在真空中加熱，因氣體稀薄，在傳導(dǎo)、對(duì)流、輻射三種傳熱方式中只以輻射為主，而在600℃以下，輻射作用又很微弱，所以真空中加熱速度緩慢。