對(duì)涂層測(cè)厚儀來(lái)說(shuō)，主要有下面幾種原因引起測(cè)量不準(zhǔn)確。
　　(1)強(qiáng)磁場(chǎng)的干擾。我們?cè)鲞^(guò)一個(gè)簡(jiǎn)單實(shí)驗(yàn)，當(dāng)儀器在1萬(wàn)V左右的電磁場(chǎng)附近工作時(shí)，測(cè)量會(huì)受到嚴(yán)重的干擾。如果離電磁場(chǎng)非常近時(shí)還有可能會(huì)發(fā)生死機(jī)現(xiàn)象。
　　(2)人為因素。這中情況經(jīng)常會(huì)發(fā)生在新用戶(hù)的身上。涂層測(cè)厚儀之所以能夠測(cè)量到微米級(jí)就因?yàn)樗軌虿扇〈磐康奈⑿∽兓?，并把它轉(zhuǎn)化成為數(shù)字信號(hào)。在使用儀器測(cè)量過(guò)程中如果用戶(hù)對(duì)本儀器不熟悉就可能使探頭偏離被測(cè)機(jī)體，使磁通量發(fā)生變化造成錯(cuò)誤測(cè)量。所以建議用戶(hù)朋友初次使用本儀器時(shí)，要先掌握好測(cè)量方法。探頭的放置方式對(duì)測(cè)量有很大影響，在測(cè)量中應(yīng)使探頭與試樣表面保持垂直。并且探頭的放置時(shí)間不宜過(guò)長(zhǎng)，以免造成基體本身磁場(chǎng)的干擾。
　　(3)在系統(tǒng)校準(zhǔn)時(shí)沒(méi)有選擇合適的基體?；wzui小平面為7mm，zui小厚度為0.2mm，低于此臨界條件測(cè)量是不可靠的。
　　(4)附著物質(zhì)的影響。本儀器對(duì)那些妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質(zhì)敏感。因此必須清除附著物質(zhì)，以保證探頭與覆蓋層表面直接接觸。在進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)時(shí)，選擇的基體的表面也必須是裸露的、光滑的。
　　(5)儀器發(fā)生故障。此時(shí)可以和技術(shù)人員交流或者返廠維修。
    測(cè)量過(guò)程中，為什么有時(shí)候測(cè)量數(shù)據(jù)會(huì)出現(xiàn)明顯偏差?
　　測(cè)量過(guò)程當(dāng)中由于探頭放置方式不正確或者外界干擾因素的影響可能會(huì)造成測(cè)量數(shù)據(jù)明顯偏大。這時(shí)可以按住CAL鍵把該數(shù)據(jù)清除以免進(jìn)入數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)中去。