型號

IM-7030

電源

電源電壓

100 至 240 VAC 50/60 Hz

環(huán)境抗耐性

使用環(huán)境溫度

+10 至 35℃

使用環(huán)境濕度

20 至 80%RH(無凝結(jié))

重量

約 33 kg

類型

測量頭
搭載可變照明及光照探針單元，采用寬型座標(biāo)臺

拍攝元件

1 型　660 萬像素　黑白 CMOS

顯示器

10.4 型 LCD 顯示器(XGA：1024 × 768)

受光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭

圖像測量

視野

廣視野測量模式：300×200 mm(4 角 R50)
高精度測量模式：225×125 mm

小顯示單位

0.1 µm

重復(fù)精度

座標(biāo)臺未移動

廣視野測量模式：±1 µm
高精度測量模式：±0.5 µm

座標(biāo)臺移動

廣視野測量模式：±2 µm
高精度測量模式：±1.5 µm

測量精度 ±2σ

無連接

廣視野測量模式：±5 µm^*1
高精度測量模式：±2 µm^*2

有連接

廣視野測量模式：±(7+0.02 L) µm^*3
高精度測量模式：±(4+0.02 L) µm^*4

動態(tài)光探頭測量

可測量范圍(XY)

190×90 mm

大測量深度

30 mm

動態(tài)光探頭直徑

ø3 mm

測量力

0.015 N

重復(fù)精度

±2 µm^*5

測量精度

±(8+0.02 L) µm^*6

外部遙控輸入

無源觸點輸入(有接點/無接點)

外部輸出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 輸出
額定負(fù)載 24 VDC　0.5 A
ON 電阻　50 m?以下

接口

LAN

RJ-45(10 BASE-T/100 BASE-TX/1000 BASE-T)

USB2.0 系列 A

6 組(正面：2 組/背面：4 組)

存儲

硬盤驅(qū)動器

500 GB

照明系統(tǒng)

透過

遠(yuǎn)心透過照明

落射

4 分割多角度照明(電動)
環(huán)狀(指向性)照明(電動)

XY 座標(biāo)臺

移動范圍

200×100 mm(電動)

承受負(fù)重

7.5 kg

Z 座標(biāo)臺

移動范圍

75 mm(電動)

電源

消耗功率

430 VA 以下

^*1 在 ø80 mm 范圍內(nèi)、于調(diào)焦點位置、環(huán)境溫度 +23±1℃的情況下
^*2 在 ø20 mm 范圍內(nèi)、于調(diào)焦點位置、環(huán)境溫度 +23±1℃的情況下
^*3 在 280×180 mm( 4 角 R40) 范圍內(nèi)、于調(diào)焦點位置、環(huán)境溫度 +23±1℃、座標(biāo)臺載重 3 kg 以下時，L 為座標(biāo)臺移動量( mm)
^*4 在 220×120 mm 范圍內(nèi)，于調(diào)焦點位置、環(huán)境溫度 +23±1℃、座標(biāo)臺載重 3 kg 以下時，L 為座標(biāo)臺移動量( mm)
^*5 采用標(biāo)準(zhǔn)檢測方法或采用適用于較深位置的檢測方法時為 ±3 µm
^*6 采用標(biāo)準(zhǔn)檢測方法、環(huán)境溫度 +23℃±1℃、座標(biāo)臺載重 3 kg 以下時，采用適用于較深位置的檢測方法時為 ±(10+0.02 L) µm，L 為測量長度 (mm)