西班牙Das-Nano公司成立于2012年，是家注研發(fā)高安全別打印設(shè)備、太赫茲無損檢測(cè)設(shè)備以及個(gè)人身份安全驗(yàn)證設(shè)備的高科技公司。近日，該公司重磅推出了可以實(shí)現(xiàn)大面積（8英寸wafer）石墨烯和其他二維材料的全區(qū)域無損非接觸快速電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)-ONYX。

石墨烯/二維材料電學(xué)性質(zhì)非接觸快速測(cè)量系統(tǒng)-ONYX 設(shè)備圖

    ONYX采用體化的反射式太赫茲時(shí)域光譜技術(shù)（THz-TDS）彌補(bǔ)了傳統(tǒng)接觸測(cè)量方法（如四探針法- Four-probe Method，范德堡法-Van Der Pauw和電阻層析成像法-Electrical Resistance Tomography）及顯微方法（原子力顯微鏡-AFM, 共聚焦拉曼-Raman，掃描電子顯微鏡-SEM以及透射電子顯微鏡-TEM）之間的不足和空白。ONYX可以快速測(cè)量從0.5 mm²到~m²的石墨烯及其他二維材料的電學(xué)性，為科研和工業(yè)化提供了種顛覆性的檢測(cè)手段。與其他大面積測(cè)試方法（例如四探針方法）相比，ONYX能夠測(cè)量樣品質(zhì)量的空間分布信息，并且屬于無損測(cè)試，在實(shí)驗(yàn)過程中不會(huì)對(duì)樣品產(chǎn)生任何損傷。與傳統(tǒng)顯微方法相比，對(duì)大面積的樣品可以以微米的空間分辨率快速表征，能夠大的節(jié)約測(cè)量時(shí)間，提高效率^[1,2]。

ONYX參數(shù)及點(diǎn)

ONYX主要功能

ONYX應(yīng)用方向

石墨烯	光伏薄膜材料	半導(dǎo)體薄膜	電子器件
PEDOT	鎢納米線	GaN顆粒	Ag 納米線

    目前，ONYX在研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)化域已經(jīng)安裝多套設(shè)備，包括：丹麥技術(shù)大學(xué)（DTU），牛津儀器，德國(guó)BOSH公司，LG化學(xué)，3M公司，西班牙Graphenea公司等。Quantum Design中國(guó)子公司也于2020年正式將該產(chǎn)品引進(jìn)中國(guó)，為中國(guó)客戶提供高效的技術(shù)支持和解決方案，歡迎廣大科研工作者垂詢。

參考文獻(xiàn)

[1] Cultrera, A., Serazio, D., Zurutuza, A. et al. Mapping the conductivity of graphene with Electrical Resistance Tomography. Sci Rep 9, 10655 (2019).

[2] Melios, C., Huang, N., Callegaro, L. et al. Towards standardisation of contact and contactless electrical measurements of CVD graphene at the macro-, micro- and nano-scale. Sci Rep 10, 3223 (2020).