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棱鏡耦合測試儀在技術(shù)上的特點

閱讀：2104 發(fā)布時間：2022-1-14

　　棱鏡耦合測試儀采用棱鏡耦合方法測試樣品折射率，可測試波長633nm、935nm、1549nm處的折射率值，通過軟件做曲線耦合科求出任何波段的模擬值。測量原理：待測樣品通過一個空氣作用的耦合探頭與棱鏡基座接觸，在薄膜與棱鏡之間產(chǎn)生一個空氣狹縫。一束激光光束照射到棱鏡基座上，通常會在基座上全反射進入光電探測器。在某一些入射角，稱為模式角，光子向下穿過空氣狹縫進入薄膜，進入一種被引導(dǎo)的光傳播模式，使到達探測器的光強度大幅降低。

　　棱鏡耦合測試儀的技術(shù)特點：

　　1、對折射率隨波長變化不敏感：

　　每種薄膜的折射率都隨波長變化。在以分光光度學(xué)為基礎(chǔ)的技術(shù)中，如果沒有精確了解薄膜折射率在全波長范圍內(nèi)的變化，就會導(dǎo)致實質(zhì)性的錯誤。而且，一些可變折射率薄膜，例如等離子氮化硅的折射率-波長曲線就高度依賴于薄膜沉淀條件。對于這些薄膜，Model2010的單色測量具有了一種明顯的優(yōu)勢。

　　2、不必預(yù)先知曉薄膜厚度:

　　由于橢偏儀數(shù)據(jù)隨薄膜厚度周期性變化，橢圓偏光法要求預(yù)先知曉薄膜厚度，準(zhǔn)確度為±750to±1250，這取決于薄膜折射率。Model2010可以進行直接的厚度測量，故不需要預(yù)先知曉薄膜厚度。

　　在某些周期性的厚度范圍內(nèi)不可能進行以橢圓偏光法為基礎(chǔ)的折射率測量。使用Model2010，一旦薄膜厚度超過某個最小的閾值（典型值為3000-4800,取決于薄膜/基底材料類型）就可得到*準(zhǔn)確的折射率測量。

　　3、內(nèi)部一致性檢測:

　　如果薄膜厚度超過5000-7500?，將對薄膜厚度和折射率進行多重獨立評估，并將這些多重評估的標(biāo)準(zhǔn)偏差顯示出來。只要這些測量標(biāo)準(zhǔn)偏差很低（典型值為：厚度0.3%，折射率.01%），顯著誤差幾乎不會出現(xiàn)。目前市面上還沒有其他的技術(shù)可以就每次檢測的正確性提供類似的“信心檢測”硅基上氮氧化物及硅基上氧化物的氮化物表層的測量。

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