參數(shù)規(guī)格

x射線膜厚測試儀X射線激發(fā)源：5OKV/1000μA-鎢靶X光管及高壓電源

探測器及分辨率：SDD探測器，分辨率140±5eV

定位精度：0.001mm

測量時間：10s及以上

樣品平臺移動范圍：120mm×120mm

樣品腔升降平臺移動高度：0～150mm

主機(jī)壹臺，含下列主要部件：  

(1)微焦斑X光管                  

(2)大面積SDD電制冷半導(dǎo)體探測器

(3)數(shù)字多道分析器

(4)超高精度三維移動平臺

(5)全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭

(6)高低壓電源

(7)激光定位裝置及圖像自動對焦技術(shù)

(8)開放式樣品腔及鉛玻璃屏蔽罩

(9)電動調(diào)節(jié)準(zhǔn)直器

(10)防撞激光保護(hù)器

x射線膜厚測試儀資料：儀器使用說明書（包括軟件操作說明書和硬件使用說明書）、出廠檢驗合格證明、裝箱單、保修單及其它應(yīng)提供資料各一份。

標(biāo)準(zhǔn)附件

準(zhǔn)直孔：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種（已內(nèi)置于儀器中）