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測量范圍：-120~-40°C露點(diǎn)
精度：±1°C露點(diǎn)
工作壓力：30 MPa
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
專為高純氣體運(yùn)用場合，測量微量濕度水平的一體式變送器。
特點(diǎn)：
◆ 安裝簡便
◆ 高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性
◆ 測量范圍達(dá)-120°C露點(diǎn)（<1ppbV）
◆ 100級(jí)潔凈室凈化包裝
典型運(yùn)用：
◆ 在線檢測半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度
技術(shù)參數(shù)：
測量范圍： | -120~-40°C露點(diǎn) |
精度： | ±1°C露點(diǎn) |
工作壓力： | 30 MPa |
工作溫度： | -20~+50°C |
氣室材料： | 冷拉不銹鋼, 內(nèi)部0.1~0.2 微米電拋光 |
防護(hù)等級(jí)： | IP 65 |
氣路接口： | 1/4’’VCR |
流量等級(jí)： | 建議為1~5 NL/Min |
工作電源： | 12~28VDC |
輸出信號(hào)： | 4-20mA（RS485 可選） |
溯源性： | NPL（英國）和NIST（美國） |
質(zhì)量保證期： | 12個(gè)月 |