渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。詳細(xì)很多朋友對渦輪分子泵應(yīng)該有些了解，上海旦鼎的小編為大家講解渦輪分子泵的安全使用方法。

　　德國渦輪分子泵是1956年德國人W.Becker發(fā)明的一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械真空泵。它也是一種大抽速可獲得*高真空的新型分子泵。在各個應(yīng)用領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用和普及。1985年以來出現(xiàn)了一種工作壓力范圍更寬的大流量的復(fù)合式渦輪分子泵，它可代替擴(kuò)散泵+羅茨泵或渦輪分子泵+羅茨泵。擴(kuò)大了渦輪分子泵的使用范圍。在半導(dǎo)體制造設(shè)備上用以獲得清潔的高真空。人們對渦輪分子泵的改進(jìn)倍受重視。不斷出現(xiàn)新型的組合式分子泵。如可直排大氣到高真空的組合泵應(yīng)用更方便了、占地面積也少了。

　　渦輪分子泵的軸承由有油潤滑的滾動軸承和滑動軸承向*非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉(zhuǎn)子的抽氣單元有渦輪葉片、盤式葉片和牽引式螺旋槽結(jié)構(gòu)。而且動、靜葉片間的間隙很小，葉片很長剛性差。由于操作錯誤，突暴大氣到泵中，使葉片損壞，因?yàn)槭艽髿庳?fù)載和離心力的作用開始彎曲振動，*過動、靜葉片的間隙將會發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而，高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)遭到破壞時(shí)有發(fā)生，所以關(guān)于渦輪分子泵的安全使用問題，曾引起過渦輪分子泵的設(shè)計(jì)者和操作者的重視和研究，以使渦輪分子泵順利推廣應(yīng)用與安全運(yùn)行。

渦輪分子泵的故障分析:渦輪分子泵的故障是由于機(jī)械真空泵的軸承系統(tǒng)，驅(qū)動系統(tǒng)以及外因等出現(xiàn)問題時(shí)而引起的。下面僅介紹引起轉(zhuǎn)子葉片和轉(zhuǎn)子圓筒的破壞的一些情況。

渦輪分子泵損壞的原因:渦輪分子泵損壞的原因可分為設(shè)計(jì)上的和使用上的兩方面的原因造成的。

設(shè)計(jì)上的安全措施:在轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)時(shí)，要進(jìn)行回轉(zhuǎn)體整體的應(yīng)力分析，通過有限單元法計(jì)算和電測應(yīng)力法加以驗(yàn)證，也有用電鏡進(jìn)行組織結(jié)構(gòu)觀察。要避免應(yīng)力集中，氣體負(fù)荷的安全率要合理設(shè)定。高速回轉(zhuǎn)體要做精密的動平衡，動平衡取重時(shí)要避免裂紋產(chǎn)生，以防腐蝕，疲勞破壞。有時(shí)要作*轉(zhuǎn)數(shù)試驗(yàn)以考核零件強(qiáng)度。

渦輪分子泵使用上的安全對策：

由于渦輪分子泵使用方便，前泵采用干式運(yùn)行的隔膜泵，使整套CDK設(shè)備免維護(hù)，干式運(yùn)行，體積小，重量輕。 自動測量前泵產(chǎn)生的真空壓力并自動啟動分子泵，不需要附加裝置和人為控制，前泵與分子泵的配合*自動化。 配有給容器充氣的充氣開關(guān)。  當(dāng)達(dá)到一定的真空壓力后，可選擇自動關(guān)閉前泵，以節(jié)省電源，增加設(shè)備的使用壽命。 采用自動空氣冷卻。 結(jié)構(gòu)特別緊湊，性能可靠，操作特別簡單，只用一個總開關(guān)便可開關(guān)渦輪分子泵組。因此得到廣泛的應(yīng)用和普及。但是，高速的回轉(zhuǎn)體，萬一遭到損壞或發(fā)生能量轉(zhuǎn)換對結(jié)構(gòu)的破壞是難以估量的。所以使用者對此必須要有高度的重視。日本曾提出渦輪分子泵安全使用準(zhǔn)則及釋放轉(zhuǎn)矩測試方法的建議以引起用戶注意。真空泵的用途很廣，使用的條件也多種多樣。如使用的工作壓力，被抽氣體的種類和性質(zhì)不同時(shí)，所要考慮的對策也就不同了。如異物的混入，吸氣口處安裝有保護(hù)的金屬網(wǎng)，網(wǎng)孔的大小直接影響泵的抽氣效率。因此，對各種對策要綜合來考慮其效果。

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