使用方法：

（1） 在背板上電源插座插好電源線、四探針頭連接線，檢查保險(xiǎn)絲管有無(wú)松動(dòng)。

（2） 打開(kāi)背板上的電源開(kāi)關(guān)（將I按下）此時(shí)面板上的數(shù)字表及各控制開(kāi)關(guān)上均有指示燈點(diǎn)亮。

（3）從左向右，察看控制開(kāi)關(guān)，先將電流換檔開(kāi)關(guān)置于“1mA”, 在測(cè)硅片、硅塊時(shí)ρ/R置于“ρ”， 在測(cè)方塊電阻時(shí)ρ/R置于“R”，校準(zhǔn)/測(cè)量檔選在“校準(zhǔn)”。

（4）將四探針頭壓在樣品上，此時(shí)數(shù)字表上顯示的是測(cè)量電流;

如選用間距為1.00mm的四探針頭，

在10 mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示6.28，即I=6.28mA。

在1 mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示62.8，即I=0.628mA。

如選用間距為1.59mm的四探針頭，

在10 mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示10.0，即I=10mA。

在1 mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示100.0，即I=1mA。

（5）將zui右邊的按鈕按下，測(cè)量燈亮。此時(shí)數(shù)字表上顯示的是欲測(cè)樣品電阻率，樣品電阻率在1.0Ω·cm至199.9Ω·cm之間均可用此檔（1mA）測(cè)量，如數(shù)字表顯示1，后三位全不顯示時(shí)，表示材料電阻率大于200Ω·cm。

（6）電流選擇

電阻率≥1Ω·cm時(shí)選用1mA檔測(cè)量。

方塊電阻≥10Ω/□時(shí)選用1mA檔測(cè)量。

電阻率≤1Ω·cm時(shí)選用10mA檔測(cè)量。

方塊電阻≤10Ω/□時(shí)選用10mA檔測(cè)量。

   例如:選用間距為1.00mm的四探針頭， 當(dāng)電流換檔開(kāi)關(guān)按到10mA檔燈亮，將測(cè)量/校準(zhǔn)開(kāi)關(guān)按至“校準(zhǔn)”燈亮，調(diào)節(jié)下面的粗、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示6.28，此時(shí)測(cè)量電流即為6.28mA。將測(cè)量/校準(zhǔn)開(kāi)關(guān)按至測(cè)量時(shí)燈亮，此時(shí)讀出的數(shù)即是電阻率值，測(cè)量范圍在0.01至1.00Ω·cm，如數(shù)字表顯示0.00時(shí)，即表示材料電阻率很低，已小于0.01Ω·cm。

測(cè)量硅片電阻率時(shí)，請(qǐng)先用卡尺測(cè)出厚度，再在校準(zhǔn)檔按附表調(diào)節(jié)好電流后，轉(zhuǎn)到測(cè)量檔即可方便讀出電阻率數(shù)。

              文章來(lái)源：北京綠野創(chuàng)能機(jī)電設(shè)備有限公司