瑞士VAT閥快速關(guān)閉/梁式止動(dòng)閥

對(duì)快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或真空環(huán)境的損失（尤其是加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大體量的損失），可能造成嚴(yán)重的污染問(wèn)題并且需投入精力來(lái)恢復(fù)所需真空水平。

75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng)，可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)（具體取決于閥門直徑）以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉后，閥門密封 < E-9 mbarl/s。防止損壞是分秒必爭(zhēng)的，因此，75.0 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

75.0 系列為翻板閥 (DN 63-200)，采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 200℃，驅(qū)動(dòng)器為最高 50℃。閥蓋為金屬密封，閘封為氟橡膠，饋通件以焊接金屬波紋管密封。

快速關(guān)閉閥由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過(guò)定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài)、傳感器及其連接來(lái)確保快速關(guān)閉。控制器采用模塊化設(shè)計(jì)，可針對(duì)不同的閥門/傳感器布置進(jìn)行配置?？焖訇P(guān)閉閥的狀態(tài)同樣通過(guò)該控制器提供，以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出。同理，閥門也可以通過(guò)控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

經(jīng)證明，75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列可在各種工藝條件下的所有加速器和儲(chǔ)存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能，成為了超高真空和真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。

75.0 超高真空快速關(guān)閉閥的主要特點(diǎn)

• 兼容超高真空和真空部件

• 快速的高真空保護(hù)關(guān)閉機(jī)制

• 安全關(guān)閉后可以輕松恢復(fù)至準(zhǔn)備運(yùn)行狀態(tài)

• 高度可靠

優(yōu)勢(shì)：

• 技術(shù)成熟

• 實(shí)際免維護(hù)

• 擁有成本較低

• 技術(shù)成熟

• 實(shí)際免維護(hù)

• 擁有成本較低

• 瑞士VAT閥快速關(guān)閉/梁式止動(dòng)閥

技術(shù)數(shù)據(jù)