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X射線熒光光譜法，是用X射線管發(fā)出的初級線束輻照樣品，激發(fā)各化學(xué)元素發(fā)出二次譜線（X-熒光）。X射線熒光分析儀分為波長色散型（WD-XRF）與能量色散型（ED-XRF）兩種。兩者雖然同屬于X射線熒光分析儀，產(chǎn)生信號的方法相同，后得到的波譜也極為相似，但由于采集數(shù)據(jù)的方式不同，兩者在原理和儀器結(jié)構(gòu)上有所不同，功能也有區(qū)別。

1、原理上

波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF）是用分光近體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X射線波長和強度，從而測定各種元素的含量。

能量色散型熒光光譜儀（ED-XRF）是借組高分辨率敏感半導(dǎo)體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線熒光按光子能量分離X色線光譜線，根據(jù)各元素能量的高低來測定各元素的量，由于原理的不同，故儀器結(jié)構(gòu)也不同。

2、結(jié)構(gòu)上

波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線管），樣品室，分光晶體和檢測系統(tǒng)等組成。

為了準(zhǔn)且測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系統(tǒng)安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機械運動裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，要求作為光源的X射線管的功率要打，一般為2-3千瓦，單X射線管的效率極低，只有1%的功率轉(zhuǎn)化為X射線輻射功率，大部分電能均轉(zhuǎn)化為而能產(chǎn)生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），因此波譜儀的價格往往比能譜儀高。

 

能量色散型熒光光譜儀（DE-XRF），一般由光源（X-線管），樣品室和檢測系統(tǒng)等組成，與波長色散型熒光光譜儀的區(qū)別在于他不分光晶體，由于這一特點使能量色散型熒光光儀具有如下的優(yōu)點：

1、儀器結(jié)構(gòu)簡單。裝置既省略了晶體的精密運動裝置，也無需調(diào)整。還避免了晶體衍射所照成的前度損失，光源使用的X射線管功率低，一般在100W一下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。

2、 能量色散型熒光光儀的光源。樣品，檢測器彼此靠得越近，X射線的利用率很高，不需要光學(xué)聚集，在累計整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光譜儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。

3、在能量色散型熒光光譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X射線光子同時進入檢測器，這樣奠定了使用多道分析器和熒光同時累計和現(xiàn)實全部能譜（包括背景）睇基礎(chǔ)，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導(dǎo)體檢測器X射線光譜儀能比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。

4、能量色散型熒光光譜儀減小了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減少了一起的漂移影響，提高凈計算的統(tǒng)計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，減少偶然錯誤判斷某元素的可能性。