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1、X射線管：儀器的一部分，產(chǎn)生照射樣品的X射線。

2、光圈：光圈是引導(dǎo)X射線指向樣品的裝置的第一部分。XRF儀器中的光圈將決定光斑尺寸——正確的光圈選擇對(duì)精密度和測量效率至關(guān)重要。

3、探測器：與相關(guān)電子設(shè)備一并處理從樣品中激發(fā)出的X射線：探測X射線的能量和強(qiáng)度。

4、對(duì)焦系統(tǒng)：確保每次測量中X射線管、零部件和探測器間的X射線可測量且?guī)缀喂饴愤B續(xù)一致；否則會(huì)導(dǎo)致結(jié)果不準(zhǔn)確。

5、相機(jī)：幫助用戶精確定位測量區(qū)域。某些情形下相機(jī)用于向自動(dòng)操作模塊提供圖像信息，或包括放大圖像以精確定位需要測量的區(qū)域。

6、樣品臺(tái)：樣品可放置于固定或可移動(dòng)的樣品臺(tái)上?？焖倩蚵僖苿?dòng)對(duì)于找到測試位置至關(guān)重要，隨后聚焦于準(zhǔn)確的區(qū)域進(jìn)行測量。工作臺(tái)移動(dòng)的精準(zhǔn)度是帶來測試定位準(zhǔn)確的一個(gè)因素，并進(jìn)而貢獻(xiàn)于儀器的整體準(zhǔn)確度。

 
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