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技術文章
氣氛型高溫探針臺JZM-100H的技術參數(shù)
點擊次數(shù):58 發(fā)布時間:2025-3-3
功能描述:
快速實現(xiàn)室溫-350℃環(huán)境的控溫,可在真空環(huán)境下對樣品進行光學,電學測試,測試中也可實現(xiàn)惰性氣體的快速充放。根據(jù)樣品材料,形狀不同可選擇探針,插拔等多種安裝測試方式。
技術參數(shù):
1· 溫度范圍:室溫-350℃;
2· 控溫精度:0.5-1K,和樣品臺的水冷回路水溫穩(wěn)定性相關,盡量做到zui低。
3· 樣品臺尺寸:51mm
4· 標準K型熱電偶
5· 真空度:10E-3Pa;
6· 提供真空抽口*1、氣體入口*1、真空釋放口*1;
7· 匹配觀察窗:1
8· 匹配探針臂:2;探針臂移動精度:10μm;針尖:1μm;探針移動范圍:±12.5mm;
9· 另留2個探針臂接口備用;
10.樣品臺水冷回路;
11.探針臂接口:真空型3同軸接口,所有電學線路采用屏蔽設計,測試精度:pA
12· 樣品:51mm 最小1mm 最小電極100um
13· 4升真空,1臺 ,顯微鏡1臺