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華宇凈化談?wù)劅o塵室內(nèi)防止微粒子污染的幾項基本原則
華宇凈化談?wù)劅o塵室內(nèi)防止微粒子污染的幾項基本原則
無塵室(Clean Room)是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣和細菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而特別設(shè)計的房間。使用過濾器，就可以使無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度達到零水平，保證產(chǎn)品的質(zhì)量。實際的生產(chǎn)現(xiàn)場，由于作業(yè)者、機器和周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在生產(chǎn)產(chǎn)品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。那么，無塵室內(nèi)該如何避免這種微粒子污染呢？可以從以下幾個方面入手：
1、不攜入
在無塵室內(nèi)，要想不攜入微粒子，需要遵守以下規(guī)則：
1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理。
2）進入無塵室的相關(guān)人員，在更衣室要穿著防靜電服等。
3）通過風(fēng)淋室時，利用高速干凈空氣，除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。
4）機器及材料帶進無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下。帶進無塵室前室保養(yǎng)后，用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進入無塵室。
5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽，佩戴附有過濾器的排氣用小型風(fēng)機于腰間。
2、不發(fā)生
不但要控制操作人員在無塵室內(nèi)微粒子的發(fā)塵量，也應(yīng)該控制制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到極小限度應(yīng)采取以下方法：
1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)。
2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)。
3）采用發(fā)塵小的潤滑油。
4）機臺應(yīng)用非接觸化工作原理。
3、不儲備
若能*實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用，以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。
在*等級的無塵室中從天花板到地面，*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數(shù)值。同時空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排，長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設(shè)備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。
為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并借助除電裝置進行除電。
4、排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接對外排氣，即所謂的局部排氣。
總之，無塵室內(nèi)防止微粒子污染，既要從技術(shù)角度入手，也要操作人員按規(guī)范操作，才能較大限度地保證無塵室潔凈的工作環(huán)境。
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