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            北京亞歐德鵬科技有限公司
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            能薄膜特性測試儀DP-DHFC-1介紹都

            時間:2016-1-22閱讀:416
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              北京亞歐德鵬科技有限公司
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            薄膜測試儀/能薄膜特性測試儀  型號:DP-DHFC-1

            儀器由四探針測試儀和薄膜電導率測量儀兩分組成。具有測量度、靈敏度、穩(wěn)定性好、測量范圍寬、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能的測試。

                四探針測試儀由主機、測試架等分組成??梢詼y量片狀、塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)、能材料暗電導和光電導及溫度的變化的特性,還可以對金屬導體的低、中值電阻行測量。測試探頭采用寶石導向軸套和耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長。

                薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、阻測量系統(tǒng)等分組成。

            ◆ 測量范圍:電阻測量范圍:1×106~1×1017Ω;

                 電阻率:0.001~200Ωcm;

                 電導率:0.005~1000s/cm;

            ◆ 可測晶片直徑: 200mmX200mm;

            ◆ 探針:碳化鎢或速鋼;探針間距:1±0.01mm;

            ◆ 針間緣電阻:≥1000MΩ; 
            機械游移率:≤0.3%;

            ◆ 本底真空度:≤10Pa,氣壓可控范圍:10~400Pa;

            ◆ 襯底加熱 溫度:室溫~200℃。

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