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一、單晶硅差壓變送器工作原理
利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí)，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
二、單晶硅差壓變送器技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍
相對(duì)壓力：0～400Pa～35MPa
絕對(duì)壓力：0～1.75KPa～35MPa
信號(hào)輸出
4-20mA +HART通訊協(xié)議（兩線制）
測(cè)量精度
綜合誤差：（包括線性度、重復(fù)性、遲滯），特殊要求可定0.075%
長(zhǎng)期穩(wěn)定性
每年優(yōu)于0.15%F.S
五年優(yōu)于0.2%F.S
溫度范圍
允許介質(zhì)溫度：（-40～120）℃
允許環(huán)境溫度：（-40～85）℃
允許儲(chǔ)存溫度：（-40～85）℃
溫度影響
相對(duì)于25℃：≤±0.4%標(biāo)準(zhǔn)量程
阻尼時(shí)間
0~40S連續(xù)可調(diào)
抗震動(dòng)：2g 1000HZ ±0.05%g
抗沖擊：50g 11mesc
電磁兼容特性：符合IEC801標(biāo)準(zhǔn)
傳感器允許過(guò)壓：標(biāo)準(zhǔn)量程3倍壓力
零點(diǎn)最小報(bào)警電流范圍：3.8mA
滿度最大報(bào)警電流范圍：21mA
啟動(dòng)時(shí)間：3S 無(wú)需預(yù)熱
與介質(zhì)接觸部分材料
過(guò)程連接件：不銹鋼316， 哈氏合金C
傳感器膜片：不銹鋼316， 哈氏合金C
與介質(zhì)非接觸部分材料
外殼： 壓鑄鋁帶環(huán)氧樹(shù)脂涂層
傳感器充灌液:硅油 厭氧油
現(xiàn)場(chǎng)顯示:液晶3 1/2精度數(shù)字式顯示器 液晶模擬條狀顯示器
防護(hù)等級(jí):IP66
重量:約1Kg
防爆等級(jí)防爆型 Ex d ⅡC T5 ，本安型 Ex ia ⅡC T5
允許環(huán)境濕度:100%RH
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