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當前位置：HORIBA科學儀器事業(yè)部>>橢圓偏振光譜儀>> In-situ seriesIn-situ series在線橢偏儀
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產(chǎn)品型號:In-situ series
品 牌:HORIBA/堀場
廠商性質:生產(chǎn)商
所 在 地:國外
更新時間：2024-01-23 15:54:37瀏覽次數(shù)：2954次
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在鍍膜或刻蝕的過程中，實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學常數(shù)（n,k）變化。
在線橢偏儀技術參數(shù)
·可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化
主要特點
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設備，可實現(xiàn):
· 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化
· 光譜模式：監(jiān)測薄膜的界面和組分
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