TGS 300真空紫外光譜儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TGS300超環(huán)面光柵攝譜儀專(zhuān)為研究分析真空紫外光譜而開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)。TGS300可在像面形成二維平場(chǎng)，配合陣列探測(cè)器實(shí)現(xiàn)真空紫外光譜范圍內(nèi)的一次性全譜采集。安裝XY平臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)DN100CF法蘭接口，可以方便地調(diào)整和優(yōu)化陣列探測(cè)器的中心波長(zhǎng)和聚焦特性。
 
TGS 300真空紫外光譜儀技術(shù)特點(diǎn)
    單片式光學(xué)結(jié)構(gòu)確保光通量zui大化，高光學(xué)穩(wěn)定性。
    HJY的超環(huán)面光柵技術(shù)，全光譜范圍內(nèi)優(yōu)異的消像差能力。
    超長(zhǎng)的40mm光譜長(zhǎng)度，橫向滑動(dòng)CCD測(cè)量更寬的光譜，縱向滑動(dòng)CCD優(yōu)化成像質(zhì)量。
    光譜覆蓋zui低至10nm，10-30nm具有超高分辨率。
    支持超高真空度10^-9mbar，可接入同步輻射裝置。
 
典型應(yīng)用
   紫外和紫外等離子體光譜分析
   紫外光源表征
   激光高次諧波研究
   EUV光源表征
 
技術(shù)指標(biāo)

附件
    前鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實(shí)現(xiàn)光源和單色儀之間的光學(xué)匹配
    后鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實(shí)現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學(xué)匹配
    樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
    偏振插片
    制冷機(jī)，zui低至4K
    真空泵