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VTM300真空紫外光譜儀產品簡介
VTM300是一款設計*的真空紫外光譜儀,小角度入射光路中采用超環(huán)面光柵,在整個光譜范圍內保持低的像差和高光通量,可二維成像。VTM300運用靈活,只要更換出射端的狹縫和法蘭,就可以分別實現(xiàn)單色儀和攝譜儀功能。
VTM300真空紫外光譜儀技術特點
HJY的超環(huán)面光柵技術,優(yōu)異的消像差能力。
高光通量
二位CCD成像
單光柵實現(xiàn)60-300nm寬光譜
只需更換狹縫和法蘭,即可分別實現(xiàn)單色儀和攝譜儀功能,一機兩用。
VTM300真空紫外光譜儀典型應用
紫外反射/透射
紫外激光器
激光高次諧波
等離子體光譜
VTM300真空紫外光譜儀技術指標
光學設計 | HJY超環(huán)面消像差光柵 |
焦長 | 300 mm |
孔徑 | f/7.5 |
分辨率 | 優(yōu)于0.4nm |
波長驅動 | 步進電機 |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法蘭 | DN63 LF |
狹縫 | 測微狹縫 |
陣列探測器法蘭 | DN100CF/ICF152 |
可選項 | |
狹縫 | 自動或固定 |
58.4nm氦譜線
194.2nm汞燈譜線
附件
前鏡腔,配備兩塊超環(huán)面鏡,實現(xiàn)光源和單色儀之間的光學匹配
后鏡腔,配備兩塊超環(huán)面鏡,實現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學匹配
樣品室,可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機,zui低至4K
真空泵
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