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在線橢偏儀儀器介紹：
在鍍膜或刻蝕的過程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。

在線橢偏儀技術(shù)參數(shù)：
·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測樣品膜層變化

在線橢偏儀儀器介紹：
在鍍膜或刻蝕的過程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。

在線橢偏儀技術(shù)參數(shù)：
·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測樣品膜層變化

在線橢偏儀主要特點(diǎn)：
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備，可實(shí)現(xiàn):
· 動態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測膜厚變化
· 光譜模式：監(jiān)測薄膜的界面和組分

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HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部

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