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使用平行光表面檢查燈在潔凈室中發(fā)現(xiàn)微小顆粒與劃痕
點擊次數(shù)：1311 發(fā)布時間：2021-11-25
很多行業(yè)的元器件，如半導(dǎo)體元器件、光學(xué)鏡頭、液晶面板等在制造過程中，空氣中不允許有過多的灰塵顆粒；對于制造中的某些步驟，例如半導(dǎo)體，在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中，由于空氣中的顆粒會影響產(chǎn)品質(zhì)量并造成重大損失。在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的。
盡管潔凈室非常干凈，但是，潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對流外，這些灰塵可能來自消耗品（例如手套和口罩）或由人體產(chǎn)生。（例如來自皮膚表面的死皮細(xì)胞）。
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在潔凈室中，一些沒有氣流的區(qū)域（死點）會慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾，這些空氣中的微塵會直接落到產(chǎn)品或工作人員身上，而不會被粒子計數(shù)器感應(yīng)到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內(nèi)的空氣中漂浮。當(dāng)它們因靜電或極性聚集在一起時，很難將粘性灰塵吹到排氣口。
對于這種吸附的顆粒，不僅空氣過濾器的收集效率低，而且粒子計數(shù)器也難以感應(yīng)，而且這種顆粒一旦附著在重要的表面（如光罩）上，可能會影響產(chǎn)量。（路徑越細(xì)，影響越大。）
如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒，就無法有效地清潔灰塵，從而造成損失。因此，在潔凈室中，如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320，就能有效檢測產(chǎn)品上的粘塵，從而降低不良率。
