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“掃描探針顯微鏡漂移測(cè)量方法”標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布

2012-6-11　　閱讀(1081)

黃文浩教授近二十年來一直從事納米技術(shù)與精密儀器領(lǐng)域的研制工作。在2006年，他向標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC201（表面化學(xué)分析技術(shù)委員會(huì)）提出了“掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法標(biāo)準(zhǔn)”的提案，目的是要將SPM工作時(shí)納米/秒的漂移大小和方向測(cè)量出來，以規(guī)范這類儀器的使用方法。2007年該提案正式立項(xiàng)，黃文浩教授被為該項(xiàng)目工作組的召集人。經(jīng)過四年多的努力，SPM漂移測(cè)量方法標(biāo)準(zhǔn)的zui終草案于2011年經(jīng)全體成員國(guó)投票后順利通過，并于2012年正式發(fā)布。

　　該標(biāo)準(zhǔn)定義了描述SPM在X、Y和Z方向的漂移速率的專業(yè)術(shù)語，規(guī)定了SPM漂移速率的測(cè)量方法和測(cè)量程序，對(duì)儀器的功能和工作環(huán)境以及測(cè)量報(bào)告內(nèi)容均作了嚴(yán)格要求。該標(biāo)準(zhǔn)為SPM儀器生產(chǎn)廠家制定了漂移速率的有效參數(shù)規(guī)格，并且能幫助用戶了解儀器的穩(wěn)定性，以便設(shè)計(jì)有效的實(shí)驗(yàn)。該標(biāo)準(zhǔn)不僅適用于基于SPM測(cè)量圖像的漂移速率評(píng)價(jià)方法，對(duì)其它納米級(jí)測(cè)量?jī)x器穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)也有著重要參考價(jià)值。自20世紀(jì)80年代掃描探針顯微鏡（Scanning-probe microscopy，SPM）發(fā)明以來，由于其具有原子量級(jí)的分辨能力，極大地促進(jìn)了納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，并已逐步形成了一種高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。SPM的工作原理是通過微小探針在樣品表面進(jìn)行掃描，將探針與樣品表面間的相互作用轉(zhuǎn)換為表面形貌和特性圖像。由于掃描速率較慢，漂移現(xiàn)象在掃描過程中普遍存在，這制約了SPM在納米測(cè)量和納米加工方面的進(jìn)一步應(yīng)用。

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