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德國Phsytech深能級瞬態(tài)譜 DLTS

深能級瞬態(tài)譜DLTS我們在1990年推出了*數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有*的能量分辨率。

特點

l  自動接觸檢查

l  常規(guī)測試和加強軟件

l  自動電容補償

l  三終端FET電流瞬態(tài)測量

l  大電容和濃度范圍

l  靈活性高、模塊化硬件

l  支持各種冷卻倉和溫度控制器

l  傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能

l  DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評價

l  直接測量發(fā)射瞬態(tài)

l  使用28個不同的相關(guān)功能（軟件）通過一次溫度掃描，給出28個溫度掃描信號

深能級瞬態(tài)譜DLTS操作模式

l  C-DLTS(電容模式)

l  CC-DLTS(定電容模式)

l  I-DLTS（電流模式）

l  DD-DLTS（雙關(guān)聯(lián)模式）

l  Zerbst-DLTS

l  O-DLTS（光激發(fā)模式）

l  FET-Analysis

l  MOS-Analysis

l  ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）

l  缺陷分析

l  俘獲截面測量

l  I/V, I/V(T) 查理森Plot分析

l  C/V, C/V(T)

l  TSC/TSCAP

l  PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）

l  DLOS(特殊系統(tǒng))