3,可以觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)
配備了觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān),可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀(guān)察方法等多種操作.只要選擇觀(guān)察方法,就能得到基于登錄條件的zui合適的觀(guān)察影像.自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行.
4,晶圓搬送機(jī)組合
可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓.新型搬送手臂的采用,實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送,能滿(mǎn)足多種尺寸晶圓搬送的需求.
5,潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器. 6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器,采用了新型馬達(dá),實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換.
6,可選的傾斜觀(guān)察筒
備有2種能以舒適姿勢(shì)觀(guān)察的傾斜鏡筒.可以根據(jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào),或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀(guān)察的U-SWETTR-5型號(hào).
7,自動(dòng)載物臺(tái)組合
備有對(duì)應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動(dòng)載物臺(tái).通過(guò)PC控制,可以實(shí)現(xiàn)檢查、不良分析功能.
儀器存放及操作環(huán)境,應(yīng)無(wú)強(qiáng)烈振動(dòng),無(wú)光輻射,無(wú)腐蝕性液體、氣體,濕度和溫度適宜的潔凈室內(nèi).
顯微鏡使用完畢后,應(yīng)用儀器防塵罩或玻璃罩遮蓋,以避免灰塵.
物鏡應(yīng)存放在物鏡盒中,或?qū)⑿断碌奈铩⒛跨R放入干燥缸內(nèi).
透鏡表面若有污垢,可用清潔的長(zhǎng)纖維脫脂棉或擦鏡紙,沾上少許乙醇和乙醚(分析純)混合液(3:7)擦拭,但是一般狀況下,無(wú)專(zhuān)業(yè)技能不能擦拭.
儀器長(zhǎng)期使用后應(yīng)注意在各傳動(dòng)部分加些潤(rùn)滑脂,使用油脂宜粘度適當(dāng),避免酸性.
儀器結(jié)構(gòu)精密,不宜隨便拆卸,尤其是物鏡和目鏡,如遇故障可送工廠(chǎng)、購(gòu)買(mǎi)單位或當(dāng)?shù)靥丶s維修部修理.
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