主要特性與技術(shù)指標(biāo)
直流和時間相關(guān)測量可讓您對電流-電壓（IV）測量結(jié)果充滿信心
- 4 象限電源和測量功能可讓您在低至 fA（毫微微安培）的范圍內(nèi)進(jìn)行精確的電流-電壓（IV）表征
- 測量范圍是 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V
- 提供點測量、掃描測量、脈沖和采樣測量功能
- 采樣測量間隔zui低為 100 μs
- 脈寬zui小值為 500 μs，使用 2 μs 分辨率
- 準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測量，具有泄露電流補償
描述
在低至次 fA / µV 分辨率上執(zhí)行低電流/電壓測量，實現(xiàn)*的直流測量性能
電源/測量單元（SMU）是 Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀的關(guān)鍵測量模塊。SMU 集成了電壓/電流源和測量功能，可在低至 fA / µV 分辨率上執(zhí)行精確的直流電流-電壓（IV）測量。選件 ASU（自動傳感和開關(guān)單元）可將低電流測量性能向下擴(kuò)展至次 fA 范圍，為您提供更高的測量性能。
SMU 還可執(zhí)行準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測量。它不僅擁有低頻 CV 特征，同時還是表征柵極晶體管的表面態(tài)以及高頻 CV 的重要測量方法。Keysight B1500A 支持精確的 QS-CV 測量和泄露電流補償。
對于要求進(jìn)行精密電壓/電流測量的半導(dǎo)體、納米器件（例如碳納米管（CNT）和碳納米線（CNW））、有源/無源元件、材料以及任意電氣器件，SMU 結(jié)合使用 EasyEXPERT 軟件的分析和數(shù)據(jù)管理能力，非常適合對這些器件進(jìn)行表征。
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