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潔凈室等級標準及氣流形式

凈化的定義
　　凈化（潔凈）技術(shù)及玷污（微玷污）控制技術(shù)，上常用玷污控制一詞，即對加工或處理對象在加工處理過程中由于玷污物質(zhì)的存在，影響對象的成功率，而對到達對象表面的玷污物質(zhì)進行控制后，能提高對象的成功率，此有效控制玷污物質(zhì)（亦包括加工或處理對象帶有對人體有害的玷污物質(zhì)需進行處理及隔離）的技術(shù)。

潔凈室等級標準（美國聯(lián)邦標準209E）
等級      >=0.5um塵粒數(shù)      >=5um塵粒數(shù)
     顆/立方英尺      顆/立方米      顆/立方英尺      顆/立方米
100      100                 3,500           /                   /
1,000      1,000                 35,000         7                 250
10,000      10,000                 350,000           70                 2,500
100,000      100,000                 3,500,000   700                 25,000

潔凈室氣流形式及其特點
氣流形式      適用潔凈      優(yōu)點      缺點
垂直層流底回風      10級,100級      1 效果很
2 運轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮少
4 管理容易      1 設備造價非常高
2 擴展比較困難
3 維護費用高
垂直層流側(cè)回風      10級,100級      1 效果
2 運轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮少
4 管理容易      1 設備造價非常高
2 擴展比較困難
3 維護費用高
混流方式      100級,1000級      1 結(jié)構(gòu)比較簡單
2 效果較好      1 造價較高
2 運行,維護費較高
亂流方式      1000級,
10000級,
100000級      1 結(jié)構(gòu)簡單
2 造價低
3 擴展方便      1 易產(chǎn)生渦流
2 不易管理