GB/T 43965-2024 電子級正硅酸乙酯
范圍
本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級正硅酸乙酯的技術要求、檢驗規(guī)則、型式試驗、標志、包裝、運輸及貯存的要求，描述了試驗方法、分析方法與測定結果評價。
本文件適用于沉積二氧化硅的電子級正硅酸乙酯。
術語和定義
本文件沒有需要界定的術語和定義。
技術要求
電子級正硅酸乙酯應符合表1的規(guī)定。
試驗方法
試驗環(huán)境
水分測試在氮氣保護的手套箱中進行，箱內參數(shù)壓力設定為0.42mbar，氧含量的體積分數(shù)不大于2×10-0，水含量的體積分數(shù)不大于2×10-6。
水分含量的測定
應按 GB/T 26793 中的規(guī)定執(zhí)行。
可采用其他等效的方法測定正硅酸乙酯中水含量。當測定結果有異議時，按 GB/T 26793 規(guī)定的方法為仲裁方法。
GB/T 26793-2011 庫侖法微量水分測定儀
京都電子KEM 庫侖法卡爾費休微量水分測定儀 MKC-710S
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