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蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。最早可用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版， 也廣泛地被使用于儀器鑲板，銘牌等的加工；經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，亦可以用于航空、機(jī)械、化 學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上，蝕刻更是*的技術(shù)。 鋁是半導(dǎo)體工藝中最主要的導(dǎo)體材料。它具有低電阻、易于淀積和刻蝕等優(yōu)點(diǎn)。鋁蝕刻液主要成分是 磷酸、硝酸、醋酸及水，其中磷酸、硝酸、醋酸及水的組成比例會(huì)影響到蝕刻的速率，故需要對(duì)這種混酸 溶液的成分進(jìn)行分析