表面粗糙度測量儀有哪些分類
表面粗糙度測量儀有哪些分類
表面粗糙度的測量方法基本上可分為接觸式測量 和非接觸式測量兩類。在接觸式測量中主要有比較法、印模法、觸針法等;非接觸測量方式中常用的有光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差法、 AFM、光學傳感器法等。
觸針式表面粗糙度測量儀是比較常用、方便、 可靠的表面粗糙度測量儀,并且一直是各國國家標準及標準制定的依據。根據傳感器的不同原理,觸針式粗糙度儀可分為電感式、壓電式、光電式、 激光式和光柵式等,還可以分為有導頭式和無導頭式。導頭式粗糙度儀僅限用于測量表面粗糙度,而無導頭式粗糙度儀除可用于測量表面粗糙度外,還可用于 測量表面波紋度和表面幾何形狀。
工作原理
電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針,觸針曲率半徑很小,測量時將觸針搭在工件上,與被測表面垂直接觸,利用驅動器以一定的速度拖動傳感 器。由于被測表面輪廓峰谷起伏,觸狀在被測表面滑行時,將產生上下移動。此運動經支點使磁芯同步地 上下運動,從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發(fā)生變化。傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的,線圈電感量的變化 使電橋失去平衡,于是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的信號,經電子裝置將這一微弱電量的變化 放大、相敏檢波后,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。此后,將信號分成三路:一路加到指零表上, 以表示觸針的位置,一路輸至直流功率放大器,放大后推動記錄器進行記錄;另一路經濾波和平均表放大器 放大之后,進入積分計算器,進行積分計算,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。