光刻膠是電子產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料之一，又稱光致抗蝕劑，是一種對光的混合液體。其組成成分主要有光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠能夠通過光化學(xué)反應(yīng)，在曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓殘D形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場景，這里的待加工基片可以是集成電路材料，顯示面板材料或者印刷電路板。

中文名稱：2-羧基-4-降冰片內(nèi)酯-5-甲基丙烯酸酯

英文名稱：5-Methacroyloxy-2,6-norbornane carbolactone

別稱：甲基丙烯酸2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環(huán)戊并[b]呋喃-6-基酯

CAS號：254900-07-7

分子量：222.24

密度：1.26±0.1 g/cm3

沸點：367.7±25.0 °C

分子式：C12H14O4

熔點：102 °C

MSDS：N/A

閃點：N/A

AZ 1500 系列i線光刻膠

AR-P 6200正電子束光刻膠

Nanoscribe IP系列光刻膠

IP-PDMS光刻膠

IP-n162光刻膠

IP-Visio光刻膠

IP-S光刻膠

IP-Dip光刻膠

紫外光刻膠 AR-N 4400

SU-8 3035 3025光刻膠

SU-8 3050 3035 3010負性光刻膠

SU-8 2000 環(huán)氧負性光刻膠

SU-8系列 負性光刻膠

SU-8 2000系列 負性光刻膠

SU-8 3000系列 負性光刻膠

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