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            華洋科儀

            MOS-500維修案例——slit卡住

            時(shí)間:2017-8-30 閱讀:732
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            問(wèn)題表現(xiàn):

             儀器初始化自檢的過(guò)程中報(bào)錯(cuò),提示“Impossible to initialize slit”,或初始化一直無(wú)法完成,如圖1。打開(kāi)儀器主機(jī)外殼后可以觀察到,Slit部件在初始化自檢過(guò)程中運(yùn)動(dòng)受阻,發(fā)生卡滯,如圖2。圖 1 初始化一直無(wú)法完成 

            圖 2  Slit的位置

            原因分析:

            Slit為運(yùn)動(dòng)部件,機(jī)械部分隨著使用時(shí)間延長(zhǎng),潤(rùn)滑油消耗,摩擦力過(guò)大造成卡滯。

            處理方法:

            在slit部件的兩個(gè)萬(wàn)向節(jié)以及所有與轉(zhuǎn)動(dòng)軸有接觸的部分加潤(rùn)滑油,而后手動(dòng)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)軸使slit部件充分潤(rùn)滑。潤(rùn)滑油可以用移液槍(或滴管)吸取,點(diǎn)在對(duì)應(yīng)位置少量。如圖3、圖4。

             圖3 Slit 卡滯處理方法(1)

            圖4 Slit 卡滯處理方法(2)

             

            注:

            1. Slit卡滯的問(wèn)題通常都可以通過(guò)添加潤(rùn)滑油解決,用戶可以在Slit卡滯現(xiàn)象消除后設(shè)置1nm、5nm等不同的slit大小,使Slit部件運(yùn)轉(zhuǎn)順滑。

            2.涂潤(rùn)滑油時(shí)避免污染透鏡鏡片。

            3. 用戶可以選擇固定半年/一年時(shí)間添加一次潤(rùn)滑油。

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