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            青島清永凈化設備有限公司
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            電子潔凈室有何設計特點?

            時間:2021/2/23閱讀:2049
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            電子潔凈室的設計特點有如下:
            1、平面由工藝決定,電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應適應電子產品發(fā)展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
            2、主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內墻承重體系。
            3、大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。
            4、應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環(huán)境的安裝口或檢修口。
            5、電子工業(yè)潔凈室按二級耐火等級設計。
            6、特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5M。
            7、電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。
            8、電子工業(yè)潔凈室允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按大班人數為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室。
            9、對于高級別潔凈室,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
            10、電子工業(yè)潔凈室常要根據生產工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產生,將已產生的靜電迅速、安全的排除。
            11、電子工業(yè)潔凈室友有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源。
            12、電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外,對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準。
            電子潔凈室的環(huán)境參數:

            參數

            數       值

            說       明

            截面風速/(M/S)

            0.3-0.5

            0.2-0.4

            潔凈度1-3級(ISO)潔凈室

            潔凈度4-5級(ISO)潔凈室

            換氣次數/(次/H)

            50-60

            15-25

            10-15

            潔凈度6級(ISO)潔凈室

            潔凈度7級(ISO)潔凈室

            潔凈度8-9級(ISO)潔凈室

            靜壓差/Pa

            >5

            >10

            不同等級潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室

            之間潔凈室與室外之羊

            溫度/

            18-22

            16-20

            按具體工程項目要求24-26

            26-28

            按具體工程項目要求

            工藝無要求時的生產環(huán)境

            人員凈化及生活用房

            工藝有要求時的生產環(huán)境

            工藝無要求時的生產環(huán)境

            人員凈化及生活用房

            工藝有要求時的生產環(huán)境

            相對濕度/%

            30-50

            按具體工程項目要求

            50-70

            按具體工程項目要求

            工藝無要求時的生產環(huán)境

            工藝有要求時的生產環(huán)境

            工藝無要求時的生產環(huán)境

            工藝有要求時的生產環(huán)境

            新風量/[M3/(人.H)

            40

             

            噪聲/DB(A)

            <65

            單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室

            照度/lX

            300-500

            200-300

            非單向流潔凈室主要生產用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外)

            其它用房

            照度均勻度

            0.7

             

            靜電表面電阻率

            1*105—1*1010

            一級標準為1*105—1*107

            靜電體積電阻率

            1*104-1*109

             

            地面對地的漏泄電阻

            *105-1*108

             

            靜電壓

            <50(45%相對濕度)

            4級(ISO)以上潔凈室

            振動速度

            振動加速度

            振幅

            相對位移量

             

            根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標《隔振設計規(guī)范》

            電磁干擾

             

            4級(ISO)以上潔凈室,當潔凈室靠近高壓輸配電設施時尤為重要




             

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