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潔凈室的四種類型
（1）非單向流潔凈區(qū)
（2）單向流潔凈區(qū)
（3）混合流潔凈區(qū)
（4）微環(huán)境/隔離裝置
潔凈室按氣流型式過去分非單向流的及單向流的（垂直、水平單向流），90年代中后期ISO14644-4中又提出了混合流的型式，即把實際早已存在的在非單向流潔凈室設置局部的單向流的潔凈工作臺/站或?qū)恿髡值葘﹃P鍵部位進行“點”的“線”的保護以減少單向流潔凈區(qū)的面積。如手術(shù)室、制藥廠、實驗室及小批量生產(chǎn)的潔凈室中尚采用這種“點”的保護。而半導體工廠常采用“潔凈隧道”形式形成“線”的保護，即把較多工序的各臺設備的關鍵加工區(qū)置于非單向流潔凈室的層流罩內(nèi)，各臺設備的關鍵加工區(qū)一般都面對布置。微環(huán)境/隔離裝置，是80年代出現(xiàn)的，90年代以后應用逐漸廣泛，它與潔凈室的概念是不*相同的，它是無人在內(nèi)的，是工藝加工設備的關鍵加工部位*與周圍環(huán)境隔離并進行加工，防止人等周圍環(huán)境對其加工的污染。它必須是密切與工藝及工藝設備相結(jié)合的，實質(zhì)上它已成為工藝設備的一個組成部分。
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