飛納臺式掃描電子顯微鏡

——Phenom 版專業(yè)版

Phenom-World 公司于2014 年9 月在Prague 電鏡年會上發(fā)布了飛納電鏡版Phenom XL， 該設(shè)備在繼承飛納電鏡系列超高分辨、快速成像、簡易操作、直接觀測絕緣體、高度自動化、環(huán)境要求低、防震設(shè)計等優(yōu)點的基礎(chǔ)上，做出了如下改進，使其在擁有臺式電鏡操作簡單等特點的下，同時具備大型落地式電鏡的高分辨率、多功能和拓展性強等優(yōu)勢：

Phenom XL 電鏡腔室由原來的32 mm 擴容為100 mm x 100 mm，一次可容納至少36 個樣品

自動馬達樣品臺的移動范圍為X = 50 mm，Y = 50 mm（可選配X=100 mm,Y=100 mm）

Phenom XL 提供高、中、低三級真空，可以選配二次電子探測器；

可拓展拉伸臺，壓力臺，大角度傾斜臺、高低溫樣品臺等功能性選件；

飛納臺式掃描電鏡—— 智能、高效、多功能

放大倍數(shù)：20×-100,000×

分辨率：優(yōu)于17nm

電子槍：1500小時CeB6燈絲

抽真空時間：15秒

樣品移動方式：自動馬達樣品臺

樣品定位方式：光學(xué)和低倍電子雙重導(dǎo)航

樣品導(dǎo)電性要求：無需噴金，直接觀測絕緣體

拓展功能：3D粗糙度重建、纖維統(tǒng)計測量，高倍拼圖等

溫控樣品臺，可直接觀測液體

表面細節(jié)豐富的高分辨率照片

Phenom(飛納)Pro 為您提供高信噪比、表面細節(jié)豐富的優(yōu)質(zhì)圖像；

2，20×-100,000×連續(xù)放大，分辨率優(yōu)于17nm，大景深；

3，傳統(tǒng)電鏡往往通過提高加速電壓來產(chǎn)生更高的信號，同時由于穿透深度較深，導(dǎo)致表面細節(jié)缺失。低加速電壓電子穿透深度淺，避免樣品被破壞，展現(xiàn)更多表面細節(jié)；

4，探測背散射電子，展現(xiàn)清晰形貌結(jié)構(gòu)的同時，提供豐富的成份信息；

左圖：5kV低加速電壓下，電子反應(yīng)區(qū)位于樣品表面，配合高亮度CeB6燈絲，既保證了分辨率，又得到樣品表面的信息；

右圖：15kV高加速電壓下，電子穿透深度較深，表面細節(jié)不明顯

 CeB₆燈絲在樣品表面單位面積內(nèi)激發(fā)的信號約是鎢燈絲的10倍，適合于低加速電壓觀測

表面形貌和成分信息同時展現(xiàn)成份模式：同時給出樣品表面形貌與成份信息，不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨

成份模型	四分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相疊加。

形貌模式四分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相抵消

樣品杯，30秒快速成像

Phenom（飛納）樣品杯、低真空設(shè)計、的真空封鎖技術(shù)，裝入樣品后30秒內(nèi)即可得到高質(zhì)量圖像，僅為傳統(tǒng)電鏡的1/10左右

直接觀看絕緣體，無需噴金

Phenom（飛納）采用低真空技術(shù)，出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子與樣品表面累積的電子中和，有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生，直接觀測各種不導(dǎo)電樣品（如下圖所示）。

利用降低荷電效應(yīng)樣品杯，更可將開始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右，而且不會影響燈絲壽命，下圖頭發(fā)示例：

操作簡便，全程導(dǎo)航

自動/手動聚焦

自動/手動亮度            

自動/手動對比度

自動燈絲居中調(diào)節(jié)

自動馬達樣品臺

光學(xué)/電子樣品導(dǎo)航

Phenom（飛納）操作界面。通過點擊右側(cè)圖標(biāo)可以輕松完成圖像縮放、聚焦亮度對比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等操作。界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍SEM導(dǎo)航窗口，方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進行切換。

光學(xué)導(dǎo)航，所有帶觀測樣品盡在視野之中，高倍下準(zhǔn)確切換樣品，只需點擊感興趣樣品，即可自動移動到屏幕*

環(huán)境適應(yīng)性高，*防震

Phenom（飛納）可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中，無需超凈間。采用燈絲、探測器、樣品臺相對一體化的設(shè)計，震動不會引起三者間的相對運動，使Phenom成像不受震動影響，可放置在較高樓層。

互聯(lián)網(wǎng)遠程檢測

Phenom（飛納）擁有遠程檢測功能，通過網(wǎng)絡(luò)，專業(yè)工程師可隨時為您遠程檢測系統(tǒng)、答疑解難，為您提供*的保護，讓您的Phenom隨時處于*工作狀態(tài)。

豐富的拓展功能選件

適用于不同領(lǐng)域的樣品杯選件

Metallurgical mount charge reduction sample holder，

降低荷電效應(yīng)金相樣品杯

降低荷電效應(yīng)金相樣品杯，在顯微圖像觀測中，獲得表面平滑樣品的常規(guī)辦法是鑲嵌和拋光等技術(shù)。金相樣品杯可用于觀測鑲嵌在樹脂等材料中的樣品。

Pin stub charge reduction sample holder

降低荷電效應(yīng)樣品杯

降低荷電效應(yīng)樣品杯，無需噴金，可以直接觀察不導(dǎo)電樣品，從而獲得樣品的原始形貌和成份信息。

1000x	2500x	4000x

Standard sample holder

標(biāo)準(zhǔn)樣品杯測試結(jié)果

1000x	2500x	7500x

Charge reduction sample holder

降低荷電效應(yīng)樣品杯測試結(jié)果

Standard sample holder

標(biāo)準(zhǔn)樣品杯

標(biāo)準(zhǔn)樣品杯，適用于高分辨率成像，可用于觀測粉末，薄膜，及各種不規(guī)則形狀的三維樣品。

Motorized Tilt and Rotation Sample Holder

自動傾斜/旋轉(zhuǎn)樣品杯

內(nèi)置微型馬達，計算機控制傾斜、旋轉(zhuǎn)角度，為您呈現(xiàn)樣品的隱藏特征，展現(xiàn)3D圖像效果。

Temperature Controlled Sample Holder

溫控樣品杯

溫控樣品杯，自動控溫，適用于生物、有機等樣品，使樣品減少水分的蒸發(fā)，得以保持原貌，并且減少電子束對樣品的損傷，延長觀看時間。

Micro Tool & Tilt-Rotation Sample Holder

微型工具樣品杯

        制樣過程

微型工具樣品杯適用于鉆頭、鑼刀、等長度較長，且有角度要求的樣品成像。樣品直接裝進樣品杯即可，無需其他輔助工具

Insert X-view

X-斷面觀測插件             

X-斷面觀測插件適合于涂層以及多層半導(dǎo)體器件等斷口、斷面的觀測，且不需要螺絲等其它工具來固定樣品

Insert Micro-electronics 

微型電子器件插件

微型電子器件插件采用特制夾具將微型電子器件無損的固定在樣品杯中。測試后，樣品可以重新回到制備環(huán)節(jié)中去，或者參與其他損耗檢測。

簡單制樣程序