傾斜旋轉(zhuǎn)樣品杯

針對(duì)放樣或制樣時(shí)，小特征點(diǎn)無法被看到的問題。

傾斜的優(yōu)勢(shì)

三維測(cè)量

3D結(jié)構(gòu)成圖

孔

多層結(jié)構(gòu)

邊緣

旋轉(zhuǎn)的優(yōu)勢(shì)

沿X或Y軸排列特征點(diǎn)信息

可以對(duì)樣品的每一個(gè)面進(jìn)行成像

規(guī)格

• 傾斜范圍: -10° ~ + 45° (步長(zhǎng)0.2°) 

• 旋轉(zhuǎn)角: 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) (步長(zhǎng)0.2°) 

• zui大試樣直徑: 12 mm

• zui大試樣高度: 5 mm

• zui大重量: 60 g 

• 真空度: 高真空 

通過 Pro Suite 應(yīng)用來專門控制

• Compucentric 旋轉(zhuǎn)

• Pseudo-eucentric 傾斜

• 傾斜自動(dòng)對(duì)焦

• 用坐標(biāo)和圖像來保存當(dāng)前樣品臺(tái)位置

• X 和 Y 軸排列

Compucentric 旋轉(zhuǎn)

旋轉(zhuǎn)一個(gè)不在中心位置的特征點(diǎn)時(shí)需要三軸聯(lián)動(dòng)。有了軟件上的這個(gè)功能以后，旋轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)自動(dòng)運(yùn)動(dòng)。

Pseudo-eucentric傾斜

傾斜特征點(diǎn)會(huì)引起工作距離和Y軸位置的變化。本功能自動(dòng)矯正Y軸位置。

跟蹤對(duì)焦

傾斜特征點(diǎn)時(shí)會(huì)引起工作距離的變化和物理上的Y軸方向的位置。跟蹤對(duì)焦功能自動(dòng)矯正Z軸方向的焦距。

X和Y軸對(duì)齊

僅兩點(diǎn)點(diǎn)擊即可幫助實(shí)現(xiàn)對(duì)齊X和Y方向的特征。

樣品臺(tái)和坐標(biāo)

設(shè)置樣品坐標(biāo)。

由于具備自動(dòng)樣品操作能力，可以直觀方便地對(duì)于任何樣品的任何特征成像。