氣溶膠稀釋器主要作用是通過對氣溶膠進(jìn)行稀釋從而降低氣溶膠的濃度,以滿足粒徑譜儀、采樣器、光學(xué)粒子計數(shù)器等氣溶膠研究儀器使用要求的儀器。儀器通過一個細(xì)的毛細(xì)管采集一部分氣溶膠顆粒,毛細(xì)管流動比率保持不變,其余部分的氣溶膠通過旁路被HEPA過濾器過濾掉,然后將毛細(xì)管和旁路兩股氣流進(jìn)行均勻混合,使得毛細(xì)管中的顆粒濃度得以稀釋。保持一定的毛細(xì)管與旁路的比率,就能形成固定的顆粒稀釋比。稀釋比例最高可達(dá)100倍。
依據(jù)ISO14644-3、潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境檢測技術(shù)分析與應(yīng)用GB/T36066-2018,對已裝過濾系統(tǒng)檢漏時通常采用氣溶膠光度計法和離散粒子計數(shù)器(DPC)法。兩種方法均采用氣溶膠發(fā)生器在過濾系統(tǒng)的上風(fēng)側(cè)注入20~80mg/m3的氣溶膠,通過氣溶膠光度計或粒子計數(shù)器先后測試過濾系統(tǒng)上風(fēng)側(cè)和出風(fēng)口的氣溶膠濃度,完成檢漏測試。
氣溶膠稀釋器的三種校準(zhǔn)方法:
氣溶膠光度計法、光學(xué)粒子計數(shù)器、流量測定法對氣溶膠稀釋器的稀釋比進(jìn)行校準(zhǔn)。
目前氣溶膠稀釋器主要分為限流稀釋器、流量稀釋器兩種。
限流稀釋器通常由三個主要元件組成:HEPA或者ULPA過濾器、稀釋控制閥、限流器。稀釋控制閥用于調(diào)整稀釋比、一般為多線圈螺紋針閥。氣溶膠限流器可能是(但不限于)針孔、玻璃或者金屬毛細(xì)管、注射針管。
流量稀釋器通常由三個主要部分組成:HEPA或者ULPA過濾器、稀釋控制器、流量計。通過稀釋控制器和流量計來調(diào)整稀釋比。為了獲得準(zhǔn)確的稀釋比,需選用準(zhǔn)確等級較高的流量計。