一、一種用于機械工程領(lǐng)域的計量儀器，主要功能測量并檢驗光束線機械部件的直線與角等線性位移量的精度、分辨率和重復精度；測量并檢驗光束線機械部件的直線度、平行度等形狀和定向公差。
二、技術(shù)指標：
1、直線位移測量：測量范圍：0～40米測量精度：±1.5ppm(20°±0.5°)；±1.7ppm(15～25°)；±3.0ppm(0～40°)分辨率：10nm(標準值)；1nm(均值)最高測量速度：±0.7m/s；
2、角位移測量：測量范圍：±10°(繞光學基準旋轉(zhuǎn))；測量精度：±0.2%測量值；
3、平面度測量測量范圍：0～15m測量精度：±0.2%測量值。
三、原理介紹：動態(tài)校準儀(高配)是基于質(zhì)量流量計控制流量配比稀釋鋼瓶標氣nmol/mol～μmol/mol(ppb～ppm)級的標氣,基本單元為兩個高精確度的質(zhì)量流量控制器,臭氧發(fā)生器、臭氧光度計。光度計測量的基本原理是Beer-Lambert關(guān)系式,在給定溫度、壓力下,一定光程內(nèi)一定濃度氣體對特定波長的光強的吸收。
四、應(yīng)用：動態(tài)氣體校準儀可以提供濃度的各種氣體。這些不同濃度的氣體被用來對各種測量儀器進行校準，包括校零，精密度檢查，單點檢查，審核及多點檢查。所有1046的組件(包括質(zhì)量流量控制器，O3發(fā)生器，電源，電磁閥)一直以來都被用于儀器校準，并以其準確性和可靠性而稱。
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