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體積電阻率及表面電阻率測(cè)試儀SB121的應(yīng)用
1. 接好電源線和測(cè)試線，將測(cè)試線與待測(cè)試器器件連接好。量程置于104檔，從儀器后面板調(diào)電壓按鈕到所要求的測(cè)量電壓。
2. 接通電源調(diào)零，在“Rx”兩端開路的情況下，調(diào)零使電流表的顯示為0000。
3. 將待測(cè)試樣平鋪在不保護(hù)電極正中央，然后用保護(hù)電極壓住樣品，再插入被保護(hù)電極（不保護(hù)電極、保護(hù)電極、被保護(hù)電極應(yīng)同軸且確認(rèn)電極之間無短路）。
4. 測(cè)試：接好線路，側(cè)體積電阻時(shí)測(cè)試按鈕撥到Rv邊，測(cè)表面電阻時(shí)測(cè)試按鈕撥到Rs邊，接通電源同時(shí)開始計(jì)時(shí)，量程按鈕從低檔位逐漸撥，每撥一次停留1-2秒觀察顯示數(shù)字，當(dāng)被測(cè)電阻大于儀器測(cè)量量程時(shí)，電阻表顯示“1”，此時(shí)應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高的位置。測(cè)量?jī)x器有顯示值時(shí)應(yīng)停下，在1min的電化時(shí)間后測(cè)量電阻，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔次即是被測(cè)電阻。
5. 測(cè)試完畢將量程撥至（104）檔，測(cè)試按鈕撥到中央位置后關(guān)閉電源。
6. 注意事項(xiàng)
應(yīng)在“Rx”兩端開路時(shí)調(diào)零，一般一次調(diào)零后在測(cè)試過程中不需再調(diào)零。
禁止將“RX”兩端短路，以免微電流放大器受大電流沖擊。
在測(cè)試過程中不要隨意改動(dòng)測(cè)量電壓。
測(cè)量時(shí)從低次檔逐漸撥往高次檔。
接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分。
測(cè)試過程中不能觸摸微電流測(cè)試端。
在測(cè)量高阻時(shí)，應(yīng)采用屏蔽盒將被測(cè)物體屏蔽。
*先做體積電阻率然后做表面電阻率測(cè)試