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            北京中慧天誠科技有限公司
            
			  
			  
            
				
				
			  
            

            




 
 
						
            
			
            
				
			
            
		
            
		
            
			
            
				
            
					
            
						
            箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)型號(hào)：YQDH-500ZZS
            
						
            
							時(shí)間：2014-5-15閱讀：240
							
            
							
				
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            箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)型號(hào)：YQDH-500ZZS貨號(hào)：ZH5496
            產(chǎn)品簡介
              適用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜，薄膜研究及新材料工作。其主要特點(diǎn)為功能強(qiáng)、鍍膜穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。
            主要參數(shù)
            1、鍍膜室體積：500×500×600mm3，規(guī)格可定做；
            2、限真空度：6.7×10-5 Pa，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤（40分鐘）；
            3、真空抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵與復(fù)合分子泵組成；真空測量系統(tǒng)：復(fù)合數(shù)顯真空計(jì)；
            4、蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：270°E型電子槍及高壓電源，電子槍功率0～6KW可調(diào)；
                       電阻蒸發(fā)源：銅水冷電4根，功率：3kW/10V兩組；
            5、結(jié)構(gòu)形式：立式前開門后置抽氣系統(tǒng)；
            6、工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(diào)（PID控溫）；
            7、旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r～30r/min 可調(diào)；
            8、選配件：光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等；
            9、供電電源：三相AC380V，50Hz；整機(jī)功率22KW。
             
            
							
						
            
					
            
				
            
			
            
		
            
		
	        



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 



	
	
	

            
	
            
		
            
			
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