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            Medium系列超純水機在集成電路制造中制備純水過程

            閱讀:1899      發(fā)布時間:2017-7-23
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               Medium系列超純水機在集成電路制造中制備純水過程
              在大規(guī)模集成電路制造中,每一階段結(jié)束后,都要用水沖洗。因為在進行微米級的微細(xì)加工時,必須避免同會使半導(dǎo)體性能變壞的雜質(zhì)接觸,還要防止雜質(zhì)進入氣路導(dǎo)管。為了達到這一目的,用于沖洗的水要經(jīng)過超純水機嚴(yán)格提純制備。
              在生產(chǎn)大規(guī)模集成電路時要求的超純水無法從自然獲得,必須通過超純水機或其他方式進行制備。超純水的精煉分為一次純水處理和二次純水處理。一般來說,通過超純水機將向各車間供應(yīng)的純水集中處理是一次純水處理,各車間各自進行的處理是二次純水處理。
              經(jīng)過Medium系列超純水機提純的一次純水處理的水源有城市自來水、工業(yè)用水、河流的水、地下水、井水等,應(yīng)根據(jù)水源和水的性質(zhì)進行相應(yīng)過濾等前處理,然后用滲透膜和離子交換膜去除微細(xì)的懸浮液為例子和溶解于其中的物質(zhì),以得到集成電路制作中所需要的水質(zhì)。經(jīng)過超純水機制備的一次純水已經(jīng)很干凈,但是非常容易溶解其他物質(zhì),因此在貯存和運輸過程中,一定要小心使其不被重新污染。
              為了保證水質(zhì)*符合要求,在使用現(xiàn)場還要再次進行精煉,即進行超純水機二次純水處理。二次純水處理設(shè)備就安裝在制造半導(dǎo)體器件的超凈房間里,或放在它的附近。二次純水處理所需要的超純水機中包括有紫外線殺菌裝置,非再生型盒式離子交換裝置、微過濾器和超級過濾的薄膜過濾器等,Medium系列超純水機經(jīng)過這樣一系列的嚴(yán)格制備所得到的超純水,能夠符合集成電路制造生產(chǎn)中對水的需求。

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