HORIBA SEC-E40（MK3）質(zhì)量流量控制器

概要

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

工作原理

• 入口處進(jìn)來(lái)的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。

• 通過(guò)感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息，在回路中交換成 電力信號(hào)。

• 該信號(hào)通過(guò)增幅回路、修正回路，以 0~5V 的線形電力信號(hào)向外部輸出， 另一方面又輸入至比較控制回路中。

• 外部得到的設(shè)定信號(hào)和從感應(yīng)器處的到的流量信號(hào)在比較回路中形成差 異信號(hào)，再輸送至下一個(gè)的閥門驅(qū)動(dòng)回路中。

• 流量控制閥門盡可能使該差異信號(hào)降為“0”，使流量一直控制在 設(shè)定流量。

特征

• 適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）

   

• 被廣泛的使用于的制造業(yè)，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。

制造: HORIBA STEC

HORIBA SEC-E40（MK3）質(zhì)量流量控制器